[发明专利]包括校准系统的图案生成器

权利要求书

1.一种图案生成器，包括：

写入工具，构造成用以在布置于台架上的工件上生成图案；以及

校准系统，构造成用以确定所述写入工具的坐标系与所述台架和所述工件其中一个上的校准板的坐标系之间的相关性；

其中，所述校准系统进一步构造成用以至少部分地基于光学相关性信号或图案来确定所述相关性，所述信号或图案为从校准板表面上的至少一幅反射图案反射的至少一条光束的形式。

2.如权利要求1所述的图案生成器，其中，所述校准系统构造成用以在所述写入工具在工件上生成图案的同时确定所述相关性，并且其中，所述图案生成器构造成基于所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性对所述工件上生成的图案进行实时对准。

3.如权利要求1所述的图案生成器，其中，所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性至少部分地在所述工件上生成图案之前得以确定。

4.如权利要求3所述的图案生成器，其中，所述校准系统是构造成朝所述校准板发射至少一条光束的单独的测量系统，所述光束排列成与所述校准板上的至少一幅反射图案匹配的图案，并且其中，从所述校准板上的至少一幅反射图案反射的至少一条光束被进一步用于确定所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性。

5.如权利要求1所述的图案生成器，其中，所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标之间的相关性至少部分地在所述工件上生成图案期间得以确定。

6.如权利要求1所述的图案生成器，其中，所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性至少部分地在所述写入工具的至少一个写入单元的各写入动作之间得以确定，所述写入工具在工件上生成图案。

7.如权利要求6所述的图案生成器，其中，所述相关性至少部分地在一个旋转器臂的各写入扫掠之间得以确定。

8.如权利要求6所述的图案生成器，其中，所述相关性至少部分地在两个单独的旋转器臂的写入扫掠之间得以确定。

9.如权利要求1所述图案生成器，其中，所述校准系统还构造成朝所述校准板发射至少一条光束，所述光束排列成与所述校准板上的至少一幅反射图案匹配的图案，并且其中，从所述校准板上的至少一幅反射图案反射的至少一条光束进一步由所述校准系统使用，以确定所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性。

10.如权利要求1所述的图案生成器，还包括：

单独的测量系统，构造成发射排列成与所述校准板上的至少一幅反射图案匹配的图案的光束，并且其中，从所述校准板上的至少一幅反射图案反射的至少一条光束由所述校准系统使用，以确定所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性。

11.如权利要求1所述的图案生成器，其中，当在所述工件上生成图案时，所述图案生成器构造成基于所述写入工具的坐标系与所述校准板的坐标系之间的相关性来进行所述图案的实时对准。

12.如权利要求1所述的图案生成器，其中，所述校准板包括至少一幅具有多块不同反射率区域的反射图案，并且所述校准板构造成反射用于校准所述光束的空间位置、焦点和剂量的光束；其中

所述光束包括行式映像，以及

所述至少一幅反射图案构造成与所述光束的行式映像匹配。

13.如权利要求12所述的图案生成器，其中，所述光束包括多个排列成与至少一幅反射图案匹配的图案的射线束。

14.如权利要求12所述的图案生成器，其中，所述行式映像是SLM行式映像。

15.如权利要求12所述的图案生成器，还包括：

至少一个构造成用以采样所述反射的光束的光学检测器。

16.如权利要求12所述的图案生成器，其中，所述至少一幅反射图案和匹配的行式映像构造成提供所产生的相关性信号中的单个峰值。

17.如权利要求12所述的图案生成器，其中，所述至少一幅反射图案是根据Barker编码方案或类Barker编码方案构造的。

18.如权利要求12所述的图案生成器，其中，所述光束包括排列成一维图案的一组射线束。