[发明专利]印刷电路板的检查装置

权利要求书

1.一种印刷电路板的检查装置，其检查形成于印刷电路板的焊盘、抗蚀剂的形成状态，其特征在于，

所述印刷电路板的检查装置具备：

第一色光源，其配置于相对于摄像机成为明视场照明的第一角度；

第二色光源，其为由荧光灯进行的扩散照明；及

第三色光源，其配置于相对于摄像机成为暗视场照明的第三角度，

使用所述第一色光源～第三色光源的光并由摄像机拍摄印刷电路板的图像，

所述印刷电路板的检查装置具备：

第一检查单元，使用所述第一色光源的图像来检查焊盘表面有无损伤；

第二检查单元，使用作为所述扩散照明的第二色光源的图像来检查焊盘轮廓的形成状态；及

第三检查单元，使用所述第三色光源的图像来检查抗蚀剂的形成状态。

2.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，所述第三色光源设置于与相对于印刷电路板沿倾斜方向设置的摄像机成锐角的方向。

3.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，所述第一色光源为红色LED光源，所述第二色光源为绿色光源或蓝色光源，所述第三色光源为与第二色光源不同的颜色的蓝色LED光源或绿色LED光源。

4.如权利要求1～3中任一项所述的印刷电路板的检查装置，其中，所述第三检查单元还使用所述第二色光源的图像来检查图案区域。

5.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，以所述第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域进行膨胀处理，检查该抗蚀剂下图案的区域的外侧的基材上抗蚀剂的涂敷状态。

6.如权利要求1所述的印刷电路板的检查装置，其中，以所述第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域检查有无断线、短路。