[发明专利]印刷电路板的检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够精度良好地检查形成于印刷电路板的表面的焊盘、抗蚀剂等的印刷电路板的检查装置。

背景技术

通常，形成于印刷电路板的表面的焊盘、抗蚀剂等由摄像机取得其图像，基于该图像自动地进行检查。

然而，在由这种检查装置取得印刷电路板的图像时，从相对于摄像机成正反射的方向照射光（即，明视场照明）时，在具有边缘、凹凸的部分的角部等光强烈地反射，不能顺利地检测边缘的形状。因此，通常，在取得印刷电路板的图像时，在从与相对于该摄像机成为正反射的方向不同的方向照射光的暗视场照明中取得图像（专利文献1的第4段、专利文献2的第30段）。

专利文献1：日本特表2002－535687号公报

专利文献2：日本特开2008－268141号公报

发明内容

然而，在这样用暗视场照明检查印刷电路板的焊盘、抗蚀剂等时，产生如下的问题。

即，在检查印刷电路板时，检查焊盘表面的伤痕、焊盘有无凹凸、焊盘轮廓的缺陷、焊盘表面的变色、抗蚀剂的剥离、油墨积存等，但是，如上述所示用暗视场照明取得图像时，尽管对焊盘的轮廓能够某种程度正确地取得图像，但是，对于形成于焊盘的表面的伤痕等，图像变暗而不能取得鲜明的图像。

另外，对于焊盘、抗蚀剂等，由于具有各自独立的颜色、反射率等，因此，优选照射与各自的特性对应的光而进行检查。

于是，本发明的目的在于，提供一种印刷电路板的检查装置，其照射与焊盘、抗蚀剂等的特性相对应的光来精度良好地进行检查。

即，本发明为了解决上述课题，提供一种印刷电路板的检查装置，其检查形成于印刷电路板的焊盘、抗蚀剂的形成状态，其中，所述印刷电路板的检查装置具备：第一色光源，其配置于相对于摄像机成为明视场照明的第一角度；第二色光源，其为由荧光灯进行的扩散照明；及第三色光源，其配置于相对于摄像机成为暗视场照明的第三角度，使用所述第一色光源～第三色光源的光并由摄像机拍摄印刷电路板的图像，所述印刷电路板的检查装置具备：第一检查单元，使用所述第一色光源的图像来检查焊盘表面有无损伤；第二检查单元，使用作为所述扩散照明的第二色光源的图像来检查焊盘轮廓的形成状态；及第三检查单元，使用所述第三色光源的图像来检查抗蚀剂的形成状态。

据此，能够以与焊盘、抗蚀剂的特性相对应的光源的颜色、角度来取得图像，因此，能够进行与各检查区域的特性相对应的最合适的检查。

另外，这种发明中，第三色光源设置于与相对于印刷电路板的法线沿倾斜方向设置的摄像机成锐角的方向。

据此，不能取得形成于焊盘的表面的极小的伤痕、凹凸的反射光，通过取得表面粗糙度极大的抗蚀剂的积存等漫反射光，能够有效地检查抗蚀剂的形成状态。

此外，将第一色光源设为红色LED光源，将所述第二色光源设为绿色光源或蓝色光源，将所述第三色光源设为与第二色光源不同的颜色的蓝色LED光源或绿色LED光源。

据此，对于焊盘那样的金属表面，因红色的波长的反射率变高，所以能够取得伤痕、凹痕等的图像，另外，对于如抗蚀剂那样与绿色、蓝色相近的颜色，能够在绿色、蓝色的暗视场照明下正确地取得表面图像。

此外，在用第三检查单元检查抗蚀剂的形成状态时，也使用所述第二色光源的图像来检查图案区域。

据此，对于用各色的光源不能检查的抗蚀剂的部分，可以用其它颜色的光源进行检查。

具体而言，以第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域进行膨胀处理，检查该抗蚀剂下图案的区域的外侧的基材上抗蚀剂的涂敷状态。

另外，以所述第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域检查有无断线、短路。

发明效果