[发明专利]氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件

权利要求书

1.氧化锌系导电性层合体，其为在基材的至少一面形成有底涂层和透明导电膜的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，

所述透明导电膜通过形成多层包含氧化锌系导电材料的透明导电层而成，且该透明导电膜的载流子密度为2.0×10²⁰～9.8×10²⁰cm^-3，

该氧化锌系导电性层合体相对于直径15mm的圆棒以透明导电膜为内侧进行弯曲时，在弯曲前后的薄膜电阻值变化率为50以下。

2.如权利要求1所述的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为50～250nm。

3.如权利要求1或2所述的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，

所述氧化锌系导电性层合体的初始薄膜电阻R0为700Ω/□以下，

在将所述氧化锌系导电性层合体分别在60℃、90%RH环境下及60℃环境下放置7天后的薄膜电阻值设为R1、R2的情况下，其薄膜电阻值的第一变化率T1=(R1-R0)/R0的值为1.0以下，且薄膜电阻值的第二变化率T2=(R2-R0)/R0的值为4.0以下。

4.氧化锌系导电性层合体的制造方法，其为在基材的至少一面形成有底涂层和透明导电膜的氧化锌系导电性层合体的制造方法，其特征在于，具有：

底涂层形成工序，其中，在基材上形成底涂层，

透明导电层形成工序，其中，在底涂层上通过离子镀法形成多层包含氧化锌系导电材料的透明导电层来形成所述透明导电膜。

5.如权利要求4所述的氧化锌系导电性层合体的制造方法，其特征在于，

在所述透明导电膜形成工序中，

被导入成膜室的氧气流量和氩气流量的比率为1：39～1：1。

6.电子器件，其特征在于，具有权利要求1～3中任一项所述的氧化锌系导电性层合体。