[发明专利]液浸构件及液浸曝光装置

权利要求书

1.一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，且至少部分配置于光学构件周围及通过所述光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：

第1构件，具有回收所述物体上的空间的液体的至少一些的回收口；

回收流路，供透过所述回收口回收的所述液体流动；

第2构件，面对所述回收流路并具有用以从所述回收流路排出液体的第1排出口；以及

第3构件，面对所述回收流路并具有用以从所述回收流路排出气体的第2排出口；

其中，所述第2构件包含第1部分与配置于较所述第1部分高的位置且能排出较所述第1部分多的液体的第2部分。

2.如权利要求第1项的液浸构件，其中，所述第2构件具有面对所述回收流路的第1面、朝向与所述第1面相异的方向的第2面、以及连结所述第1面与所述第2面的多个孔；以及

所述第1排出口包含至少一个所述孔。

3.如权利要求第1或2项的液浸构件，其中，所述第2部分较所述第1部分更远离所述第1构件而配置。

4.如权利要求第2或3项的液浸构件，其中，所述第2部分中的所述第3面的每单位面积的液体回收能力较所述第1部分中的所述第3面的每单位面积的液体回收能力高。

5.如权利要求第2至4项中任一项的液浸构件，其中，所述第2部分中被所述孔所占据的所述第1面的面积的比例较所述第1部分中被所述孔所占据的所述第1面的面积的比例大。

6.如权利要求第2至5项中任一项的液浸构件，其中，所述第2部分的所述第1面相对水平面的角度较所述第1部分的所述第1面相对水平面的角度小。

7.如权利要求第2至6项中任一项的液浸构件，其中，所述第1面的至少一部分与水平面为非平行。

8.如权利要求第7项的液浸构件，其中，所述第1面包含与水平面构成第1角度的区域、以及与水平面构成不同于所述第1角度的第2角度的区域。

9.如权利要求第2至8项中任一项的液浸构件，其中，所述第1面的至少一部分是曲面。

10.如权利要求第2至9项中任一项的液浸构件，其中，所述第1面的至少一部分是凹陷的。

11.如权利要求第1至10项中任一项的液浸构件，其中，所述第1排出口包含多个孔，并且所述第2部分的所述孔的尺寸较所述第1部分的所述孔的尺寸大。

12.如权利要求第1至11项中任一项的液浸构件，其中，所述第1排出口包含多个孔，并且所述第2部分的所述孔的数目较所述第1部分的所述孔的数目多。

13.一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，且至少部分配置于光学构件周围及通过所述光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：

第1构件，具有回收所述物体上的空间的液体的至少一些的回收口；

回收流路，供透过所述回收口回收的所述液体流动；

第2构件，具有面对所述回收流路的第1面、朝向与所述第1面相异的方向的第2面、以及连结所述第1面与所述第2面的多个孔，从所述孔的第1排出口排出所述回收流路的液体的至少一些；以及

第3构件，面对所述回收流路且具有用以从所述回收流路排出气体的第2排出口；

其中，所述第1面的至少一部分与水平面为非平行。

14.如权利要求第13项的液浸构件，其中，所述第1面包含与水平面构成第1角度的区域、以及与水平面构成不同于所述第1角度的第2角度的区域。

15.一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，且至少部分配置于光学构件周围及通过所述光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：

第1构件，具有回收所述物体上的空间的液体的至少一些的回收口；

回收流路，供透过所述回收口回收的所述液体流动；

第2构件，具有面对所述回收流路的第1面、朝向与所述第1面相异的方向的第2面、以及连结所述第1面与所述第2面的多个孔，从所述孔的第1排出口排出所述回收流路的液体的至少一些；以及

第3构件，面对所述回收流路并具有用以从所述回收流路排出气体的第2排出口；

其中，所述第1面的至少一部分是曲面。