[发明专利]液浸构件及液浸曝光装置

说明书

技术领域

本发明关于液浸构件、液浸曝光装置、液体回收方法、组件制造方法、程序及存储媒体。

背景技术

本申请基于2010年7月14日提出的美国发明专利暂时申请案第61/364,101号、以及2011年7月12日提出的美国发明专利申请案第13/181,122号主张优先权，将其内容援用于此。

如同例如美国发明专利申请公开第2009/0046261号所揭示的内容，在微影制程使用的曝光装置中，已知经由液浸空间的液体以曝光用光使基板曝光的液浸曝光装置。

发明内容

液浸曝光装置中，例如若不能将液浸空间形成为所欲状态，有可能发生曝光不良。其结果，有可能产生不良组件。

本发明的方面的目的在于提供能良好地形成液浸空间的液浸构件。又，本发明的方面的目的在于提供能抑制曝光不良的发生的曝光装置及液体回收方法。又，本发明的方面的目的在于提供能抑制不良组件的产生的组件制造方法、程序及存储媒体。

根据本发明的第1方面，提供一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，且至少部分配置于光学构件周围及通过光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：第1构件，具有回收物体上的空间的液体的至少一些的回收口；回收流路，供透过回收口回收的液体流动；第2构件，面对回收流路并具有用以从回收流路排出液体的第1排出口；以及第3构件，面对回收流路并具有用以从回收流路排出气体的第2排出口；第2构件包含第1部分与配置于较第1部分高的位置且能排出较第1部分多的液体的第2部分。

根据本发明的第2方面，提供一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，且至少部分配置于光学构件周围及通过光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：第1构件，具有回收物体上的空间的液体的至少一些的回收口；回收流路，供透过回收口回收的液体流动；第2构件，具有面对回收流路的第1面、朝向与第1面相异的方向的第2面、以及连结第1面与第2面的多个孔，透过孔的第1排出口排出回收流路的液体的至少一些；以及第3构件，其面对回收流路，并具有用以从回收流路排出气体的第2排出口；其中，第1面的至少一部分与水平面为非平行。

根据本发明的第3方面，提供一种液浸构件，配置在液浸曝光装置内，至少部分配置于光学构件周围及通过光学构件与物体之间的液体的曝光用光的光路周围，包含：第1构件，具有回收物体上的空间的液体的至少一些的回收口；回收流路，供透过回收口回收的液体流动；第2构件，具有面对回收流路的第1面、朝向与第1面相异的方向的第2面、以及连结第1面与第2面的多个孔，透过孔的第1排出口排出回收流路的液体的至少一些；以及第3构件，面对回收流路，并具有用以从回收流路排出气体的第2排出口；其中，第1面的至少一部分曲面。

根据本发明的第4方面，提供一种液浸曝光装置，以穿过液体的曝光用光使基板曝光，其包含：第1至第3的任一个方面的液浸构件。

根据本发明的第5方面，提供一种组件制造方法，其包含：使用第4方面的液浸曝光装置使基板曝光的动作；以及使曝光后的基板显影的动作。

根据本发明的第6方面，提供一种在液浸曝光装置使用的液体回收方法，于所述液浸曝光装置中形成液浸空间使得液体充满能射出曝光用光的光学构件与基板间的曝光用光的光路，并且以穿过液体的曝光用光使基板曝光，包含：透过第1构件的回收口回收基板上的空间的液体的至少一些的动作；透过选自第2构件中的第1部分及配置于较第1部分高的位置且能排出较第1部分多的液体的第2部分所构成的群组中的至少一部分，排出回收流路的液体的至少一些的动作，其中，所述第2构件具有能从供透过回收口回收的液体流动的回收流路排出液体的第1排出口；以及透过能从回收流路排出气体的第3构件的第2排出口排出回收流路的气体的至少一些的动作。

根据本发明的第7方面，提供一种在液浸曝光装置使用的液体回收方法，于所述液浸曝光装置中形成液浸空间使得液体充满能射出曝光用光的光学构件与基板间的曝光用光的光路，并且以穿过液体的曝光用光使基板曝光，包含：透过第1构件的回收口回收基板上的空间的液体的至少一些的动作；透过具有相对水平面为非平行的第1面、朝向与第1面相异的方向的第2面、以及连结第1面与第2面的多个孔的第2构件的多个孔的第1排出口，排出供透过回收口回收的液体流动的回收流路的液体的至少一些的动作；以及透过配置成面对回收流路的第3构件的第2排出口排出回收流路的气体的至少一些的动作。