[发明专利]排气泵

权利要求书

1.一种排气泵，具备：

筒形旋转部件；

支承机构，将上述筒形旋转部件支承为能够绕其轴心旋转；

驱动机构，驱动上述筒形旋转部件旋转；

外侧筒形固定部件，以包围上述筒形旋转部件的外周的方式配置；

内侧筒形固定部件，以被上述筒形旋转部件的内周包围的方式配置；

螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设置在上述筒形旋转部件和外侧筒形固定部件之间；

螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设置在上述筒形旋转部件和内侧筒形固定部件之间；

以及连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路，

其特征在于，

上述筒形旋转部件具备：在背面外周部具有环状凸部的板体、和嵌入安装于该环状凸部的外周的筒体，

上述连通开口部为下述构造：由将上述板体的外周部以及上述环状凸部的外周部切去而形成的孔构成，并且该孔整体中以横孔的方式开口的部分被上述筒体的上端部外周封闭。

2.根据权利要求1所述的排气泵，其特征在于，

上述筒形旋转部件整体中，上述板体与上述环状凸部由金属材料形成，上述筒体由高强度塑料材料形成。

3.根据权利要求2所述的排气泵，其特征在于，

上述板体形成为环状，在该板体的内周面设置有用于调节筒形旋转部件的平衡的质量施加槽。