[发明专利]排气泵

说明书

技术领域

本发明涉及用作半导体制造装置、平模板·显示器制造装置、太阳能面板制造装置的工艺腔、其他的密闭腔的气体排气机构等的排气泵，特别地涉及具备适于容易地进行去毛刺作业且能够提高气体的排气性能的连通开口部的排气泵。

背景技术

在利用螺纹槽而对气体进行排气的形式的排气泵中，作为不改变该泵整体的大小而提高排气性能的一种方法，公知有例如专利文献1所公开的方法。

该方法如该文献1的图1记载的那样，在筒形旋转部件（4a）的外周以及内周设置螺纹槽（30、31）。由此，在筒形旋转部件（4a）和包围其外周的外侧筒形固定部件（33）之间形成螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，并且在筒形旋转部件（4a）和由其内周包围的内侧筒形固定部件（7）之间形成螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，利用这些内外的螺纹槽排气通路并行地将气体分子排气（并行流排气方式）。

但是，在采用上述并行流排气方式的排气泵中，为了向内侧螺纹槽排气通路导入气体分子而在筒形旋转部件（4a）上开设连通开口部（4b）（参照专利文献1的图1）。所述连通开口部（4b）的上游端的上方存在旋转翼（5），所以在形成该连通开口部（4b）时从筒形旋转部件（4a）的内侧利用长尺寸的工具进行穿孔。

但是，在利用上述那样的穿孔形成连通开口部（4b）的形成方法中，在连通开口部（4b）的上游端产生毛刺。因此，当在连通开口部（4b）的上游端侧存在前述的旋转翼（5）时该旋转翼（5）成为去毛刺作业的障碍，无法简单地将毛刺去除。

通过采用上述并行流排气方式能够提高排气泵的排气性能，但随着近年的半导体及平模板、太阳能面板等的大型化，用于生产这些的密闭腔也变得大型，在密闭腔内使用的反应性气体等的气体量也增加，因此，对于作为将所述气体排气的机构的排气泵而言，要求进一步提高排气性能。

另外，在以上的说明中，括号内的符号是在专利文献1中使用的符号。

专利文献1 : 日本实开平5－38389号公报。

发明内容

本发明是为了解决并应对上述问题点以及需求而提出的，其目的在于提供一种排气泵，具备适于实现容易地进行去毛刺作业并且提高气体的排气性能的连通开口部。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明为一种排气泵，具备：筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件支承为能够绕其轴心旋转；驱动机构，驱动上述筒形旋转部件旋转；外侧筒形固定部件，以包围上述筒形旋转部件的外周的方式配置；内侧筒形固定部件，以被上述筒形旋转部件的内周包围的方式配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设置在上述筒形旋转部件和外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设置在上述筒形旋转部件和内侧筒形固定部件之间；以及连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路，其特征在于，上述筒形旋转部件为下述构造：具备：在背面外周部具有环状凸部的板体、和嵌入安装于该环状凸部的外周的筒体，上述连通开口部由将上述板体的外周部以及上述环状凸部的外周部切去而形成的孔构成，并且该孔整体中以横孔的方式开口的部分被上述筒体的上端部外周封住。

在上述本发明中，也可以在上述筒形旋转部件整体中上述板体和上述环状凸部由金属材料形成，上述筒体由高强度塑料材料形成。

在上述本发明中，也可以上述板体形成为环状，在该板体的内周面设置用来调节筒形旋转部件的平衡的质量施加槽。

发明的效果

在本发明中，作为将气体的一部分导入内侧螺纹槽排气通路的连通开口部的具体的构成，所述连通开口部由将上述板体的外周部以及上述环状凸部的外周部切去而形成的孔构成，并且，该孔整体中以横孔的方式开口的部分被筒体的上端部外周封闭，由于采用了上述构成而能够实现以下的作用效果。

（1）将由于上述孔的形成加工而产生的毛刺去除的作业能够在将筒体嵌入环状凸部的外周之前预先进行，此时，能够通过从上述孔整体中作为横孔而开口的部分向该孔内插入去毛刺用工具而容易地将毛刺去除，去毛刺作业性良好。

（2）上述孔整体中以横孔的方式开口的部分由筒体的上端部外周封闭，所以该部分也作为外侧螺纹排气通路的一部分而基于牵引效应的气体的排气动作变得有效，能够提高气体的排气性能。

（3）上述孔能够令工具从板体的外周向板体和环状凸部的边界附近接近而形成，所以即便是在上述孔整体中以纵孔的方式开口的部分的上方具有旋转翼的形式的排气泵，该旋转翼也不会在孔的形成时成为障害物，能够容易地形成由所述孔构成的连通开口部。

附图说明