[发明专利]光学反射元件

权利要求书

1.一种光学反射元件，具备：

固定框；

一对第一振动部，一端与所述固定框的内侧连接；

可动框，其与所述一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑；

一对第二振动部，一端与所述可动框的内侧连接，并且被配置成与所述一对第一振动部大致正交；和

反射镜部，其与所述一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑，

所述第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且

在所述弯折部的一部分设置了阶梯构造部。

2.根据权利要求1所述的光学反射元件，其中，

所述第一振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且

在所述第一振动部的所述弯折部的一部分设置了阶梯构造部。

3.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，

所述阶梯构造部包括所述弯折部的中点、即二等分点。

4.根据权利要求3所述的光学反射元件，其中，

至少所述阶梯构造部的一部分由不同于所述直线部的材料构成。

5.根据权利要求4所述的光学反射元件，其中，

所述阶梯构造部是通过蒸镀、溅射、浸渍来设置的。