[发明专利]光学反射元件

说明书

技术领域

本发明涉及用于显示装置等的光学反射元件。

背景技术

图10表示现有技术中的光学反射元件1。如图10所示，现有技术中的光学反射元件1具备：固定框2、一对第一振动部3、4、可动框5、一对第二振动部6、7、反射镜部8。一对第一振动部3、4的一端与固定框2的内侧连接。可动框5与一对第一振动部3、4的另一端连接，从而被支撑。一对第二振动部6、7的一端与可动框5的内侧连接，并且被配置成大致与一对第一振动部3、4正交。反射镜部8与一对第二振动部6、7的另一端连接，并以能够进行转动的方式被支撑。可动框5通过反射镜部8的大致中心，围绕沿着一对第一振动部3、4的X轴(X1轴)转动。反射镜部8通过其中心，围绕沿着一对第二振动部6、7的Y轴(Y1轴)转动。由此，光学反射元件1使被反射镜部8照射、反射的光束(光点)在X、Y轴方向上进行扫描，从而将图像投影到屏幕上。

图11表示第二振动部7的放大立体图。如图11所示，第二振动部7是使梁弯折多次的所谓的蜿蜒形状(meandering shape)，由多个直线部9a、使多个直线部9a弯曲后的弯折部9b构成。

在多个直线部9a中分别形成压电体等驱动元件。第二振动部7按照使这些驱动元件彼此成为反相位的方式进行驱动，通过使直线部9a在箭头方向上位移后使其反转，从而如图12所示那样，与直线部9a的个数相应地增加其位移量，实现了反射镜部8的大位移。

例如，专利文献1中公开了与本申请相关的光学反射元件。

为了提高投影图像的分辨率，需要维持各振动部的位移量的同时提高驱动频率来加快光束(光点)的扫描速度，但是，此时，存在应力集中于振动部的弯折部而容易产生裂纹等的问题。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2008-040240号公报

发明内容

本发明的光学反射元件具备固定框、一对第一振动部、可动框、一对第二振动部、和反射镜部。第一振动部的一端与固定框的内侧连接。可动框与一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。一对第二振动部其一端与可动框的内侧连接，并且被配置成与一对第一振动部大致正交。反射镜部与一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且在弯折部的一部分设置了阶梯构造部。

根据本发明的光学反射元件，由于能够提高振动部的弯折部的机械强度，因此能够使反射镜部以大的转动角(位移量)进行高频驱动。

附图说明

图1是本发明的实施方式1中的光学反射元件的立体图。

图2是本发明的实施方式1中的光学反射元件的反射镜部周边的放大立体图。

图3是本发明的实施方式1中的光学反射元件的第二振动部的一直线部的剖视图。

图4是本发明的实施方式1中的光学反射元件的第二振动部的部剖视立体图。

图5是图4的A方向主视图。

图6是表示本发明的实施方式1中的光学反射元件的第一振动部的详细构造的立体图。

图7是本发明的实施方式1中的光学反射元件的第一振动部的部分剖视立体图。

图8是图7的A方向主视图。

图9是表示使用了本发明的实施方式1中的光学反射元件的图像投影装置的例子的构成图。

图10是现有技术中的光学反射元件的立体图。

图11是现有技术的光学反射元件中的第二振动部的放大立体图。

图12是说明现有技术的光学反射元件中的第二振动部的动作的放大立体图。

具体实施方式

(实施方式1)

以下，利用附图说明本发明的实施方式1中的光学反射元件。

图1是本发明的实施方式1中的光学反射元件的立体图。如图1所示，本实施方式中的光学反射元件10具备：固定框11、一对第一振动部12a、12b、可动框13、一对第二振动部14a、14b、以及反射镜部15。一对第一振动部12a、12b的一端与固定框11的内侧连接，从而被支撑。可动框13与一对第一振动部12a、12b的另一端连接，以能够围绕S2轴转动的方式被支撑。一对第二振动部14a、14b的一端与可动框13的内侧连接，从而被支撑，并且被配置成与第一振动部12a、12b大致正交。反射镜部15与一对第二振动部14a、14b的另一端连接，以能够围绕S1轴转动的方式被支撑。