[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法以及磁盘的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及搭载于硬盘驱动器（HDD）等磁盘装置的磁盘用玻璃基板的制造方法以及磁盘的制造方法。

背景技术

存在一种搭载于硬盘驱动器（HDD）等磁盘装置的信息记录介质之一的磁盘。磁盘是在基板上形成磁性层等薄膜而构成，作为该基板过去一直使用铝基板。但是，最近，随着记录的高密度化的要求，与铝基板相比玻璃基板能够将磁头和磁盘之间的间隔缩短成很小，因此玻璃基板所占有的比率逐渐增大。另外，对玻璃基板表面高精度地进行研磨以使磁头的上浮高度尽量下降，由此实现记录的高密度化。近年来，对HDD越来越多地要求更大的存储容量化和价格的低廉化，为了实现这样的目的，磁盘用玻璃基板也必须具有更高的质量和低成本。

如上所述，为了满足记录的高密度化所必须的低飞行高度（上浮量），磁盘表面必须具有高平滑性。总之，要想得到磁盘表面的高平滑性就要求具有高平滑性的基板表面，因此需要对玻璃基板表面进行高精度的研磨。

为了制造这样的玻璃基板，现有技术中公开了如下的研削方法：在使用游离磨粒进行的研削（研磨）工序中，通过使用钻石薄片的固定磨粒进行研削（例如，专利文献1等）。钻石薄片是用树脂（例如丙烯酸类树脂等）等支撑材料固定钻石磨粒的小球（或者将这样的小球粘贴在薄片上的钻石薄片）。在现有的游离磨粒中形状变形的磨粒介于平台和玻璃之间不均匀地存在，因此当对磨粒的负荷不规定而负荷集中时，平台表面因铸铁而处于低弹性，因此在玻璃上产生深的裂纹，玻璃的加工表面粗糙度变大，在后续的镜面研磨工序中需要大的去除量，因此难以降低加工成本。与此相比，在通过用钻石薄片的固定磨粒进行的研削中，磨粒均匀地存在于薄片表面，因此负荷不会集中，并且用树脂来将磨粒固定在薄片上，因此即使对磨粒施加负荷，由于固定磨粒的树脂的高弹性作用，加工面的裂纹变浅，能够降低加工表面粗糙度，从而在后续工序中的负荷下降而能够降低加工成本。

在该研削（研磨）工序结束后，进行镜面研磨加工以得到高精度的平面。

另外，现在的HDD能够实现一平方英寸400千兆字节程度的记录密度，例如，2.5英寸型（直径65mm）的磁盘能够存储250千兆字节程度的信息，但是作为记录的更高的密度化的方法，例如实现500千兆字节、1百万兆字节的方法，提出了热辅助磁记录方式。适用于该热辅助磁记录方式的磁盘需具有比现在的磁盘更高的耐热性。因此，作为基板优选使用的是耐热性高的玻璃材料。

专利文献1：特开2001-191247号公报

发明内容

如上所述，通过利用钻石薄片的固定磨粒的研削方法，能够降低加工面的表面粗糙度，并且之后的镜面研磨工序的负荷降低，因此能够降低玻璃基板的加工成本，但根据本发明人的研究也存在如下的课题。

即，利用固定磨粒的研削方法的情况，发现伴随着加工时间研削率会下降。图1为表示伴随着加工时间的研削率的变化图，利用普通玻璃（现有的磁盘用玻璃基板中通常使用的铝硅酸盐玻璃）时，伴随着加工时间研削率会下降，尤其是利用耐热性玻璃（大概Tg为600℃以上）时，研削率更是大幅下降。因此，无法同时满足既提高表面质量又降低加工成本的要求。

为了解决上述的现有的课题，本发明的目的在于提供一种通过固定磨粒的研削加工不会伴随研削率下降的能够以低成本制造出高质量的玻璃基板的磁盘用玻璃基板的制造方法，以及利用通过该方法获得的玻璃基板的磁盘的制造方法。

发明人对利用这样的固定磨粒的研削方法的伴随着加工时间研削率下降的原因进行了研究，结果认为其原因如下。

现有的利用游离磨粒的研削加工中由于磨粒是游离状态，因此在研削加工过程中所产生的研削屑即使附着在磨粒上，但磨粒会重复旋转，通过平台和玻璃的摩擦，研削屑不会堆积在磨粒表面而被排出。另外，在利用固定磨粒的研削加工中，由于磨粒是被固定的，因此如果附着有研削屑，则磨粒不会旋转，因此研削屑堆积并固化在磨粒表面上，因此产生通过研削屑的固定磨粒的堵塞，从而引起加工障碍导致的研削率的下降。这种情况下，通过向加工面供给的润滑液（也可称之为冷却液）的作用清洗（去除）已堆积在磨粒表面的研削屑是比较困难的。通过固定磨粒的研削加工与通过游离磨粒的研削加工相比，研削量小，且进行高精细加工，因此伴随着加工所排出的研削屑等多包含粒径细微的屑，因此容易附着在磨粒表面上。

另外，尤其是关于引起耐热性玻璃的加工率大幅下降的原因，认为其原因如下。