[发明专利]处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于使重稀土元素RH（包含Dy和Tb中的至少一种）向R-T-B类烧结磁体的内部扩散的处理装置。

背景技术

以R₂T₁₄B型化合物为主相的R-T-B类烧结磁体，已知作为在永磁体中最高性能的磁体，使用于硬盘驱动器的音圈电机（VCM）、混合动力车搭载用发动机等各种发动机和家电制品等。

R-T-B类烧结磁体在高温域的矫顽力降低，因此，发生不可逆热退磁。为了避免不可逆热退磁，在使用于发动机用等的情况下，要求在高温域中也维持高的矫顽力。

已知在用重稀土元素RH（包含Dy、Tb中的至少一种）取代R₂T₁₄B型化合物相时，R-T-B类烧结磁体的矫顽力会提高。为了在高温域也获得高的矫顽力，可以认为有效的是向R-T-B类烧结磁体中大量添加重稀土元素RH。

但是，在R-T-B类烧结磁体中，用重稀土元素RH取代轻稀土元素RL（由Nd、Pr的至少一方构成）时，矫顽力提高，而另一方面，存在剩余磁通密度降低的问题。另外，重稀土元素RH为稀有资源，因此要求减少其使用量。

因此，近年来，研究了不使剩余磁通密度降低，而通过更少的重稀土元素RH使烧结磁体的矫顽力提高的技术。本申请的申请人已经在专利文献1中，公开了一边向R-T-B类烧结磁石体表面供给Dy等重稀土元素RH，一边从该表面使重稀土元素RH向R-T-B类烧结磁石体的内部扩散的方法（蒸镀扩散）。在专利文献1公开的方法中，在由高融点金属材料构成的扩散处理装置的内部，R-T-B类烧结磁石体和RH块体离开规定间隔而相对配置。扩散处理装置具备保持多个R-T-B类烧结磁石体的部件和保持RH块体的部件。在使用这种装置的方法中，必须要在扩散处理装置内配置RH块体工序；放置保持部件和网的工序；在网上配置R-T-B类烧结磁石体的工序；再在其上放置保持部件和网的工序；在网上配置上方的RH块体的工序；将扩散处理装置密闭进行蒸镀扩散的工序这样的一系列的操作。

专利文献2公开有以提高R-T-B类金属间化合物磁性材料的磁特性为目的，将低沸点的Yb金属粉末和R-T-B类烧结磁体成形体封入耐热密封容器内进行加热的方法。在专利文献2的方法中，在烧结磁体成形体的表面均匀地沉积Yb金属的被膜，使稀土元素从该被膜向烧结磁体的内部扩散（专利文献2的实施例5）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本再公表2007／102391号公报

专利文献2：日本特开2004-296973号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1的方法中，在扩散处理装置内，需要使由R-T-B类烧结磁石体和重稀土元素RH构成的RH块体离开配置。因此，存在用于配置的工序繁琐、批量生产性差之类的问题。另外，Dy和Tb的供给通过升华来进行，因此要增加向R-T-B类烧结磁石体的扩散量，获得更高的矫顽力，就需要长的时间。

另一方面，根据专利文献2的公开，只要为Yb、Eu、Sm那样的饱和蒸气压高的稀土金属，就可以通过同一温度范围（例如800～850℃）的热处理施行被膜在烧结磁石体的形成和从被膜的扩散。但是，要使Dy和Tb那样蒸气压低的稀土元素在R-T-B类烧结磁石体表面形成被膜、进行沉积，就需要通过使用高频加热用线圈的感应加热来选择性地将稀土金属加热到高温。这样，在将Dy和Tb加热到比R-T-B类烧结磁石体更高的温度时，需要使Dy和Tb与R-T-B类烧结磁石体离开。特别是根据专利文献2的技术思想和方法，在R-T-B类烧结磁石体的表面形成较厚（例如数十μm以上）的Dy和/或Tb的被膜，因此，在R-T-B类烧结磁石体的表面附近，Dy和/或Tb就会向主相晶粒的内部扩散，从而产生剩余磁通密度B_r的降低。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种处理装置，该装置适用于不会使剩余磁通密度降低而用于使Dy和Tb的重稀土元素RH从R-T-B类烧结磁石体的表面向内部扩散的批量生产。用于解决课题的方法

本发明的处理装置，其具备：扩散处理部，其一边加热包含重稀土元素RH（包含Dy和Tb中的至少一种）的金属或合金的RH扩散源和R-T-B类烧结磁石体一边进行旋转；分离部，其与上述扩散处理部邻接，用于从由上述扩散处理部送出的上述RH扩散源和上述R-T-B类烧结磁石体中选择性地分离上述RH扩散源而进行旋转；倾斜单元，其使上述扩散处理部和上述分离部倾斜。