[发明专利]放射线检测装置有效
申请号: | 201180034124.6 | 申请日: | 2011-07-15 |
公开(公告)号: | CN102985849A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 柳主鉉;山田直之;井上慎一;蛭田昭浩;大久保千寻 | 申请(专利权)人: | 日立民用电子株式会社 |
主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24;H01L27/14;H01L31/09 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 检测 装置 | ||
技术领域
本申请以2010年7月15日申请的日本国特愿2010-160582为基础,通过参考来包含其全部内容。
本发明涉及一种放射线检测装置。特别是,本发明涉及一种使用检测γ线、X线等放射线的边缘导通(Edge-On)型的放射线检测器的放射线检测装置。
背景技术
作为以往的放射线检测器,已知如下构成的放射线检测器(例如,参照专利文献1。):将层叠体设置在两个框架之间,用针脚(pin)来固定一个框架和另一个框架,该层叠体将多个共用电极板、多个半导体单元、以及多个电极板如共用电极板、半导体单元、电极板、半导体单元、共用电极板...那样进行层叠。
在专利文献1所述的放射线检测器中,横向相邻接的一对半导体单元共享共用电极板,因此与以往相比能够减小无法检测放射线的区域,能够提高放射线的检测效率。
专利文献1:美国专利第6236051号说明书
发明内容
但是,专利文献1的放射线检测器层叠共用电极板、半导体单元等多个结构构件而构成。在使用了这样的放射线检测器的放射线检测装置中,每当将结构构件堆积起来时各结构构件所具有的尺寸误差被相加,因此难以高密度地排列多个半导体单元、且减小无法检测放射线的区域(例如,共用电极板存在的区域等)。
因而,本发明的目的在于提供一种在稠密地配置放射线检测器的情况下也能够减小无法检测放射线的区域的放射线检测装置。
本发明为了达成上述目的,提供一种放射线检测装置,具备具有固定能够检测放射线的多个半导体元件的基板的边缘导通型的放射线检测器,其特征在于,多个半导体元件的各个在放射线入射的面具有多个元件内像素区域,在俯视中规定X方向、和与X方向正交的Y方向的情况下,以多个放射线检测器各自的基板成为平行的配置沿着X方向排列多个放射线检测器,多个放射线检测器的各个在基板的一个面以及另一个面的各个中具有在Y方向排列的多个半导体元件,将隔着基板而设置的半导体元件之间的距离设为XG1、将从一个放射线检测器的半导体元件到与该半导体元件相对置且与一个放射线检测器相邻接的其它的放射线检测器的半导体元件为止的距离设为XG2,
将在Y方向排列的半导体元件之间的距离设为YG1,将放射线检测器所使用的规定的像素间距的横间距设为a、纵间距设为b、多个半导体元件各自的放射线入射的面的宽度设为c、长度设为d、多个半导体元件各自的多个元件内像素区域中的、位于多个半导体元件各自的两端部的元件内像素区域的长度分别设为e、被位于多个半导体元件各自的两端部的元件内像素区域夹住的多个元件内像素区域的各自的长度设为f的情况下,满足如下关系:
c=a-(XG1+XG2)/2
d=b-YG1=2e+(n-2)f
e=b/n-YG1/2
f=b/n,其中,n为正的整数。
另外,在上述放射线检测装置中,在将能够设置在放射线检测器上的匹配准直器的隔板宽度设为Cd的情况下,优选是满足如下关系:
Cd≥XG1
Cd≥XG2。
另外,在上述放射线检测装置中,优选是满足XG1=XG2的关系。
另外,在上述放射线检测装置中,优选是满足XG1=XG2=YG1的关系。
另外,在上述放射线检测装置中,多个半导体元件的各个在与放射线入射的面垂直的面具有(n-1)个槽、并且在多个槽之间、以及一个面的相反侧的面具有电极,由此能够构成n个元件内像素区域。
另外,在上述放射线检测装置中,多个半导体元件的各个能够在基板的一个面以及另一个面将基板设置为对称面。
根据与本发明有关的放射线检测装置,能够提供一种在稠密地配置放射线检测器的情况下也能够减小无法检测放射线的区域的放射线检测装置。
附图说明
图1是本发明的实施方式的放射线检测器的立体图。
图2是本发明的实施方式的半导体元件的立体图。
图3是本发明的实施方式的放射线检测装置的立体图。
图4是本实施方式的多个放射线检测器所排列的状态的概要图。
图5是在本实施方式的放射线检测器上具备匹配准直器的情况下的示意性的俯视图。
附图标记说明
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