[发明专利]滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置

权利要求书

1.一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器，所述滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，其特征在于，

所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状。

2.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述触头的顶端形状设为如下的形状，即具有相对于所述滤色片平行的棱线，且所述棱线相对于所述触头的扫描方向倾斜交叉的同时，具有同时搁于在所述触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的长度的形状。

3.根据权利要求2所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，相对于所述棱线的扫描方向的交叉角度设定为45度附近。

4.根据权利要求2所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述触头在与所述滤色片平行且相正交的X轴方向以及Y轴方向上进行扫描。

5.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述突起状构造物为将相邻的两个着色层进行层叠的隔壁或为着色层与黑色矩阵层叠的隔壁。

6.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述突起状构造物为黑色矩阵或设在黑色矩阵上的衬垫。

7.一种滤色片的修复装置，其对在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物的滤色片上的突起缺陷进行研磨，其特征在于，

设有突起缺陷高度测量仪器作为研磨前高度测量机构以及研磨后高度测量机构，所述突起缺陷高度测量仪器具有触头，所述触头的形状设为同时搁于在扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状，所述突起缺陷高度测量仪器通过利用该触头对所述滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量。