[发明专利]滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过利用触头对滤色片表面进行扫描来对滤色片上的突起缺陷的高度进行测量的突起缺陷高度测量仪器、以及具备该突起缺陷高度测量仪器的滤色片的修复装置。

背景技术

以往，作为利用触头进行扫描来对基板上的突起缺陷（异物和毛刺等）的高度进行测量的测量仪器，例如有专利文献1所公开那样的、将触头的顶端形状设为具有与扫描方向正交的平坦的直线部分的形状的测量仪器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本特开平10－068618号公报

发明内容

发明要解决的课题

不过，在液晶面板的滤色片上，或者在相邻的黑色矩阵上层叠有着色层的端缘，或者在端缘部上相互层叠有着色层和相邻的別的着色层，或者在着色层之间设有比着色层更高的黑色矩阵，从而存在在着色层的边界部分形成比该着色层更高的突起状构造物。

在对具有这种突起状构造物的滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，对突起缺陷进行研磨的情况下，超过突起状构造物的高度的突起缺陷成为研磨对象，对于突起缺陷的高度测量，希望以突起状构造物的高度为基准，将超过它的高度的突起缺陷作为测量对象。

但是，在现有的突起缺陷高度测量仪器中，触头的顶端在扫描过程中落入比突起状构造物更低的着色层上、即突起状构造物之间，对突起状构造物也是以着色层的表面为基准来进行高度测量的，其成为使突起缺陷的高度的测量精度下降的主要原因。

另外，在对突起缺陷进行研磨的修复装置中，存在有夹着研磨头将对研磨前的突起缺陷的高度进行测量的机构和对研磨后的突起缺陷的高度进行测量的机构配置在两侧的情况，但在这样的修复装置中，一侧的测量机构的触头搁在突起状构造物上，另一侧的测量机构的触头落入突起状构造物之间的话，实际上滤色片是水平的，而触头落入突起状构造物之间一侧外观上却变低，其结果，有可能使研磨头过度下降并产生过度研磨。

所以，本发明以应对这种问题，提供一种对于在着色层的边界部分具有突起状构造物的滤色片，能够对超过突起状构造物的高度的突起缺陷高精度地进行测量的突起缺陷高度测量仪器，以及可以防止产生过度研磨的修复装置为目的。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明所涉及的滤色片的突起缺陷高度测量仪器为，滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，通过利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状。

在这种结构中，在滤色片上不存在超过突起状构造物的高度的突起缺陷的状态下，触头将会保持至少1点与突起状构造物接触的状态进行扫描，且触头不会落入比突起状构造物更低的着色层上，触头将会在突起状构造物上进行扫描，且以突起状构造物的高度为基准对突起缺陷的高度进行测量。

在此，所述触头的顶端形状可以设为,具有相对于所述滤色片平行的棱线，且所述棱线相对于所述触头的扫描方向倾斜交叉的同时，具有同时搁于在所述触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的长度的形状。

在这种结构中，通由于相对于扫描方向倾斜交叉的触头的棱线具有同时搁在在扫描方向上相间隔的两个突起状构造物上的长度，所以在滤色片上不存在超过突起状构造物的高度的突起缺陷的状态下，触头将会保持至少1点与突起状构造物接触的状态进行扫描，且触头不会落入比突起状构造物更低的着色层上，触头将会在突起状构造物上进行扫描，且以突起状构造物的高度为基准对突起缺陷的高度进行测量。

又，所述棱线的相对于扫描方向的交叉角度可以设定在45度附近。

在这种结构中，在相对于扫描方向以45度交叉的方向上，棱线同时搁在在扫描方向上相间隔的两个突起状构造物上。

进一步地，可以使所述触头在与所述滤色片平行且正交的X轴方向以及Y轴方向上进行扫描。

在这种结构中，因为棱线相对于扫描方向倾斜交叉，所以即使在正交的X轴方向以及Y轴方向中的任一方向上进行扫描的情况下，扫描轨迹都将具有宽度，尤其假设相对于棱线的扫描方向的交叉角度为45度的话，在X轴方向以及Y轴方向中的任一方向上扫描，都将为相同宽度的扫描轨迹，在X轴方向以及Y轴方向这两个方向上能够得到同样的高度测量功能。

又，所述突起状构造物可以设为将相邻的两个着色层进行层叠的隔壁、或设为将着色层与黑色矩阵进行层叠的隔壁。