[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法和液晶显示面板

权利要求书

1.一种有源矩阵基板，其特征在于，包括：

呈矩阵状设置的多个像素；

按所述多个像素中的各像素分别设置的多个开关元件；

设置在所述多个开关元件中的各开关元件上的第一保护绝缘膜；

设置在所述第一保护绝缘膜上的透明导电层；

设置在所述透明导电层上的第二保护绝缘膜；和

在所述第二保护绝缘膜上呈矩阵状设置、且与所述各开关元件分别连接的多个像素电极，

在所述第二保护绝缘膜，沿所述各像素电极的周围形成有槽，使得所述第一保护绝缘膜露出，

所述透明导电层沿所述第二保护绝缘膜的槽以在从该槽的侧壁凹进的状态下从该槽的侧壁露出的方式设置。

2.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述透明导电层隔着所述第二保护绝缘膜与所述各像素电极重叠，由此构成辅助电容。

3.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述透明导电层按所述各像素独立地设置，且隔着所述第二保护绝缘膜与所述各像素电极重叠，由此构成辅助电容。

4.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述透明导电层按所述各像素呈框状设置，

在所述第一保护绝缘膜与所述第二保护绝缘膜的层间，在所述各透明导电层的框内分别设置有透明电极，

所述透明电极隔着所述第二保护绝缘膜与所述各像素电极重叠，由此构成辅助电容。

5.如权利要求1至4中任一项所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述透明导电层形成得比所述各像素电极厚。

6.一种有源矩阵基板的制造方法，其特征在于：

所述有源矩阵基板包括：

呈矩阵状设置的多个像素；

按所述多个像素中的各像素分别设置的多个开关元件；

设置在所述多个开关元件中的各开关元件上的第一保护绝缘膜；

设置在所述第一保护绝缘膜上的透明导电层；

设置在所述透明导电层上的第二保护绝缘膜；和

在所述第二保护绝缘膜上呈矩阵状设置、且与所述各开关元件分别连接的多个像素电极，

所述有源矩阵基板的制造方法包括：

在基板上形成所述各开关元件的开关元件形成工序；

在所述形成的各开关元件上形成所述第一保护绝缘膜的第一保护绝缘膜形成工序；

透明导电形成层形成工序，在以覆盖所述形成的第一保护绝缘膜的方式形成第一透明导电膜之后，对该第一透明导电膜进行图案形成，由此形成成为所述透明导电层的透明导电形成层；

第二保护绝缘膜形成工序，在以覆盖所述透明导电形成层的方式形成绝缘膜之后，沿该绝缘膜中的所述多个像素电极中的各像素电极所配置的区域的周围形成槽，由此形成所述第二保护绝缘膜，使得所述透明导电形成层的一部分露出；

透明导电层形成工序，对从所述形成的第二保护绝缘膜露出的所述透明导电形成层进行蚀刻，使该透明导电形成层从所述第二保护绝缘膜的槽的侧壁后退，由此形成所述透明导电层；和

像素电极形成工序，在所述形成的透明导电层上的所述第二保护绝缘膜上形成第二透明导电膜，之后，对该第二透明导电膜进行图案形成，由此形成所述各像素电极。