[发明专利]基板运送方法和基板运送系统

权利要求书

1.一种基板运送方法，包括：

将具有静电吸附用的电极的运送机器人的保持面移动到由支撑部件的支撑面所支撑的基板附近；

在对所述电极施加电压的状态下，从所述支撑面向所述保持面转运所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板运送方法，其中，进一步在由所述保持面静电吸附所述基板的状态下，向所述支撑面转运所述基板。

3.根据权利要求1或2所述的基板运送方法，其中，在从所述保持面向所述支撑面转运所述基板之后，且在从所述支撑面向所述保持面转运所述基板之前，切换对所述电极施加的电压的极性。

4.一种基板运送系统，包括：

运送机器人，具有保持面，所述保持面配置有静电吸附用的电极；

支撑面，用于支撑基板；

控制器，构成为能够进行相对于所述支撑面使所述保持面相对移动的移动控制和对所述电极供给电压的供给控制，且在对所述电极施加电压的状态下，通过所述运送机器人将所述基板从所述支撑面向所述保持面转运。

5.根据权利要求4所述的基板运送系统，其中，所述控制器通过所述运送机器人在由所述保持面静电吸附所述基板的状态下向所述支撑面转运所述基板。

6.根据权利要求4或5所述的基板运送系统，其中，所述控制器在通过所述运送机器人从所述保持面向所述支撑面转运所述基板之后且从所述支撑面向所述保持面转运所述基板之前，切换对所述电极施加的电压的极性。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的基板运送系统，其中，所述运送机器人包括：

主体；

多个支撑销，配置为能够相对于所述主体弹性升降，且构成为能够支撑所述基板的周缘。