[发明专利]三维热点定位

权利要求书

1.一种利用锁相热成像法检测掩埋在样本之内的热源的位置的方法，包括：

将所述样本放置在测试系统上；

以多个不同的锁相频率向所述样本施加测试信号；

在向所述样本施加所述测试信号时，利用红外传感器对所述样本进行成像；

从所述成像检测所述样本表面上的横向温度分布；

与所述样本之内的热传播相关地，检测并分析所述测试信号和从所述成像获得的热响应之间的所得到的相移；

分析所述横向温度分布，以获得所述热源的横向位置；以及

分析每个热源位置处的所述相移，以确定其在所述样本之内的深度位置。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括绘制各个锁相频率处的所述相移，以获得相位相对于频率的曲线。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括分析所述相位相对于频率的曲线的斜率以改善所述深度位置。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括通过热波传播的解析解来计算与深度相关的相移相对于频率的特性；以及

将所计算的与深度相关的相移相对于频率的特性与所检测的相移相关，以识别所述热源的深度。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过热波传播的有限元建模来计算与深度相关的相移相对于频率的特性；

将所计算的与深度相关的相移相对于频率的特性与所检测的相移相关，以识别所述热源的深度。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括通过仅从来自所述红外传感器的像素子集读取数据来限制所述样本表面上的视场。

7.根据权利要求6所述的方法，其中限制所述视场包括增加相邻像素的值以产生总和数据点，并仅读取所述总和数据点。

8.一种利用锁相热像（LIT）系统检测掩埋热源的位置的方法，包括：

在测试系统上放置被测器件（DUT）；

向所述DUT施加测试信号；

在向所述DUT施加所述测试信号的同时，利用红外（IR）摄像机对所述DUT进行成像；

检测所述样本表面上的横向温度分布，以在横向上定位所述热源；

减小所述IR摄像机的工作面积以获得减小的视场；

接下来以多个不同的锁相频率向所述DUT施加电激励信号；

在向所述DUT施加测试信号时，利用所述减小的视场对所述DUT进行成像；

检测所述DUT表面上的横向温度分布；

与所述DUT之内的热传播相关地，检测并分析在所述电激励信号和所述热响应之间的所得到的相移；以及

分析所得到的相移，以获得电活动热源的深度位置。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括除了定量相位值之外，还绘制各个锁相频率处的所述相移并分析该相位相对于频率的曲线的斜率，以提高z分辨率和测量可靠性。

10.根据权利要求8所述的方法，通过热波传播的解析解来计算与深度相关的相移相对于频率的特性；以及

将所计算的与深度相关的相移相对于频率的特性与所测量的相移相关，以识别所述热源的深度。

11.根据权利要求8所述的方法，还包括通过热波传播的有限元建模来计算与深度相关的相移相对于频率的特性；

将所计算的与深度相关的相移相对于频率的特性与所测量的相移相关，以识别所述热源的深度。

12.根据权利要求8所述的方法，其中减小所述IR摄像机的工作面积包括增加相邻像素的值以产生总和数据点以及仅读取所述总和数据点。

13.根据权利要求8所述的方法，其中施加测试信号包括从外部源获得所述测试信号并使所述IR摄像机与来自所述外部源的信号同步。

14.根据权利要求8所述的方法，其中减小所述IR摄像机的所述工作面积包括使用单个像素的IR传感器。