[发明专利]显示面板的制造方法以及显示面板

权利要求书

1.一种显示面板的制造方法，包括：

准备在上表面形成有电极的基底基板的工序；

在所述基底基板上形成第1层的工序，所述第1层在俯视与所述电极重叠的位置具有第1开口部；

在所述第1层上形成第2层的工序，所述第2层在俯视与所述第1开口部重叠的位置具有第2开口部；以及

在所述第1以及第2开口部的内部形成与所述电极接触的布线层的工序；

所述第2层包含感光性材料；

形成所述第2层的工序包括：

在所述第1层上形成构成所述第2层的感光性材料的层的子工序；

在所述感光性材料的层上配置光掩模的子工序，所述光掩模的光透射性在俯视与预定形成所述第2开口部的部位重叠的第1区域和其以外的第2区域不同；以及

经由所述光掩模对构成所述第2层的感光性材料的层进行曝光的子工序；

俯视下所述光掩模的所述第1区域的面积比所述第1层的所述第1开口部的面积大。

2.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，

所述第1层的厚度比所述第2层的厚度厚。

3.如权利要求1或2所述的显示面板的制造方法，

所述第1层为在与所述第1开口部不同的位置具有用于形成功能性材料层的第3开口部的分隔壁层；

所述第2层为覆盖在所述第3开口部形成的功能性材料层的覆盖层。

4.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，

所述第1层为栅极绝缘膜；

所述第2层为在与所述第2开口部不同的位置具有用于形成功能性材料层的第3开口部的分隔壁层。

5.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，

所述第1层包含感光性材料；

形成所述第1层的工序包括：

在所述基底基板上形成构成所述第1层的感光性材料的层的子工序；

在所述感光性材料的层上配置光掩模的子工序，所述光掩模的光透射性在俯视与预定形成所述第1开口部的部位重叠的第1区域和其以外的第2区域不同；以及

经由所述光掩模对所述感光性材料的层进行曝光的子工序；

在形成所述第2层的工序中使用的光掩模的所述第1区域的俯视的面积比在形成所述第1层的工序中使用的光掩模的所述第1区域的俯视的面积大。

6.一种显示面板，具备：

在上表面形成有电极的基底基板；

形成于所述基底基板上、在俯视与所述电极重叠的位置具有第1开口部的第1层；

形成于所述第1层上、在俯视与所述第1开口部重叠的位置具有第2开口部的第2层；以及

形成于所述第1以及第2开口部的内部的、与所述电极接触的布线层；

所述第2开口部的俯视的面积比所述第1开口部的俯视的面积大。