[发明专利]动力传输装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种动力传输装置，更具体而言，涉及一种具有如下简单结构的动力传输装置：所述简单结构可减小安装高度以容易地应用于紧凑的装备；与传统技术不同，其可减少对复杂的外围附件的使用；此外，与传统技术相比，其可显著地减小维护工作及清洁工作的频率，从而防止发生过程延迟（process delay）。

背景技术

动力传输装置通常被分为齿条与齿轮（rack and pinion）型及齿轮系（gear train）型，所述齿条与齿轮型用于将旋转运动转换成线性运动或将线性运动转换成旋转运动，而所述齿轮系型用于在仅传递旋转运动的同时转换旋转速度及力矩。通常，动力传输装置的动力传输系统主要采用基于渐开线曲线（involute curve）的齿形，而极少采用基于摆线曲线（cycloid curve）的齿形及针齿轮（pin gear）。动力传输装置被广泛用于各种工业机械，例如半导体装备。

图1是例示传统的动力传输装置1的使用状态的侧视结构示意图。如图1所示，传统的动力传输装置1可部分地耦合至滑座3（图1的阴影部分），以使滑座3能够进行线性运动，滑座3例如耦合至轨道4的结构中的底板（base plate）2。

为使滑座3相对于底板2进行线性运动，连接至滑座3的动力传输装置1设置有齿条5及小齿轮（pinion）6，齿条5固定于底板2的区域中，且小齿轮6与齿条5相啮合。小齿轮6耦合至自动力传输装置1向外延伸的轴7的端部并在所述耦合期间与齿条5相啮合，如图1所示。

在上述结构中，当动力传输装置1的马达8工作时，轴7会基于动力传输装置1中所包括的各部件之间的相互作用而进行旋转，接着小齿轮6会进行旋转。这时，由于小齿轮6与固定的齿条5相啮合，因此旋转的小齿轮6会沿齿条5的长度方向进行线性运动，因而滑座3会相对于底板2进行线性运动。因此，当滑座3上装载有所需部件或设备时，所述部件或装置可被线性地移动。

图1所示动力传输装置1的上述结构是在现场使用最广泛的结构。然而，由于在图1所示的动力传输装置1的结构中，轴7向外突出且小齿轮6耦合至轴7的端部，因此占用面积、尤其是安装高度H会增大，使得难以将动力传输装置1应用于紧凑的装备。此外，还存在各种如下问题：需要例如齿轮箱或冷缩配合耦合件（shrink fitting coupling）等复杂的外围附件；因润滑油被涂覆于小齿轮6的外表面上而使设备附近被污染；以及其结构使得需要频繁地进行维护工作及清洁工作，从而使过程延迟。因此，需要对结构进行改良。

发明内容

[技术问题]

本发明提供一种具有如下简单结构的动力传输装置：所述简单结构可减小安装高度以容易地应用于紧凑的装备；与传统技术不同，其可减少对复杂的外围附件的使用；此外，与传统技术相比，其可显著地减小维护工作及清洁工作的频率，从而防止发生过程延迟。

[最佳模式]

根据本发明的一个方面，提供一种动力传输装置，所述动力传送装置包括：输入齿轮，连接至马达并由所述马达带动而在前后方向上旋转；行星齿轮系，在所述输入齿轮周围外接于所述输入齿轮，并与所述输入齿轮的旋转相关联地进行旋转；环形齿轮，被所述行星齿轮系内接，并由所述行星齿轮系带动而进行相对旋转；主框架，多个滚柱沿圆周方向耦合至所述主框架，所述多个滚柱与齿条相互作用并相对旋转，所述主框架围绕所述环形齿轮而耦合至所述环形齿轮；不旋转的后侧固定装置，设置于设有所述输入齿轮的区域中；以及不旋转的前侧固定装置，在与所述不旋转的后侧固定装置相对的侧上设置于所述环形齿轮与所述主框架之间，并耦合至所述不旋转的后侧固定装置。

所述主框架可包括：前框架部，具有多个第一滚柱嵌入孔，所述多个滚柱嵌入于所述多个第一滚柱嵌入孔中；后框架部，具有多个第二滚柱嵌入孔并平行于所述前框架进行设置，所述多个第二滚柱嵌入孔连接至所述多个第一滚柱嵌入孔；以及连接部，用于连接所述前框架部与所述后框架部。

在所述连接部内可进一步设置有环形齿轮连接肋，所述环形齿轮连接至所述环形齿轮连接肋。

在所述多个滚柱的每一者中可设置有润滑油流动孔，润滑油沿所述多个滚柱的每一者的长度方向经过所述润滑油流动孔流动。

在所述多个滚柱的每一者的侧壁中可设置有与所述润滑油流动孔连通的润滑油出口及润滑油入口，所述润滑油分别通过所述润滑油出口及所述润滑油入口被排出及进入。

所述润滑油出口与所述润滑油入口可在所述润滑油流动孔的每一端部的区域中沿所述多个滚柱每一者的径向方向被设置成面朝彼此相反的方向。