[发明专利]用于基板的载具及组装该载具的方法

权利要求书

1.一种用于在真空室中要涂布的基板的载具(1)，所述载具包含：

第一框架(3)，所述第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕所述基板；

第二框架(2)，所述第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，且所述第二框架(2)经尺寸调整以覆盖所述第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在所述第二框架(2)安装至所述第一框架(3)时，防止所述第一框架(3)的所述第一部分(33)被涂布；以及

其中所述第二框架(2)以可拆卸的方式安装至所述第一框架(3)。

2.如权利要求1所述的载具，其中所述第二框架(2)经尺寸调整以防止所述基板的边缘区域被涂布。

3.如权利要求1或2所述的载具，其中所述第二框架(2)包含两个垂直部分(22)及两个水平部分(21)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的载具，其中所述第一框架(3)的这些垂直部分(32)的材料与所述第一框架(3)的这些水平部分(31)的材料不同；及/或

其中所述第二框架(2)的这些垂直部分(22)的材料与所述第二框架(2)的这些水平部分(21)的材料不同。

5.如权利要求4所述的载具，其中所述第一框架(3)的这些水平部分(31)包含铝及/或所述第一框架(3)的这些垂直部分(32)包含钛。

6.如权利要求4或5所述的载具，其中所述第二框架(2)的这些水平部分(21)包含钛及/或所述第二框架(2)的这些垂直部分(22)包含铝。

7.如权利要求1至6中任一项所述的载具，其中所述第二框架(2)包含停止器部分(9)，以将所述基板限制在水平方向上，其中所述停止器部分(9)布置在所述第二框架(2)的适合的位置处，以使得所述基板能够在高温下限制于水平位置，尤其在接近于所述真空室的处理温度的温度下，从而确保所述基板的垂直边缘由所述第二框架(2)来覆盖。

8.如权利要求1至7中任一项所述的载具，其中所述第二框架(2)使用锁孔螺栓接合部而以可拆卸的方式安装至所述第一框架，其中所述第二框架(2)在朝向所述第一框架(3)的一侧包含螺栓，将这些螺栓设计成与所述第一框架(3)中相应的锁孔(62)开口啮合，其中将这些锁孔(62)设计成允许处于啮合位置的这些相应的螺栓的移动。

9.如权利要求8所述的载具，其中将这些锁孔(62)设计成使得处于所述啮合位置的这些相应的螺栓的所述移动相比于限制在第二空间方向，尤其是在所述水平方向上，而更加限制在第一空间方向上，尤其是在所述垂直方向上，所述第一及第二空间方向两者皆在大体上平行于所述第一框架的平面内，较佳地，其中将这些锁孔设计成考虑到所述第一框架(3)相对于所述第二框架(2)发生相对移动，所述相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的所述第二温度为所述真空室的处理温度。

10.一种用于组装载具的方法，较佳地，所述载具为如权利要求1至9中任一项所述的载具，所述载具用于要在真空室中涂布的基板，所述方法包含以下步骤：

提供第一框架(1001)；

提供第二框架(1002)；

在将基板安装至所述载具之前，以可移除的方式将所述第二框架安装至所述第一框架(1003)；

其中所述第二框架经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，且所述第二框架(2)经尺寸调整以覆盖所述第一框架的至少第一部分，从而在所述第二框架安装至所述第一框架时，防止所述第一框架的所述第一部分被涂布。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述第二框架经尺寸调整以防止所述基板的边缘区域被涂布。

12.如权利要求10或11所述的方法，其中将所述第二框架安装至所述第一框架包括使用锁孔螺栓接合部。

13.如权利要求10至12中任一项所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述第二框架安装至所述第一框架之前，预组装所述第二框架，其中预组装所述第二框架包含：将所述第二框架的垂直部分与水平部分接合。