[发明专利]真空成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及在真空状态下使多个基材成膜的真空成膜装置。

背景技术

近年来，应用薄膜制造各种制品。作为应用薄膜的制品，例如举出使用于汽车用灯的反射器的例子。在真空成膜装置所具备的真空槽内保持基材，并且使蒸发源等的成膜单元工作以在基材上形成薄膜，以此可以制造该反射器。更具体的是，反射器是在该基材上层叠反射光的反射膜、和用于保护该反射膜的保护膜而制成的。像这样在由金属材料（例如铝）构成的反射膜上层叠保护膜，以此可以抑制反射膜随着时间的劣化。

作为像这样利用于反射器的制造的真空成膜装置，公开了在真空槽的门的内表面侧具备成膜单元及基材保持件，并且形成为该门关闭时该成膜单元及基材保持件配置在真空槽的内侧空间内的结构的真空成膜装置（例如专利文献1、2）。

例如，专利文献1、2中公开的真空成膜装置形成为在一个真空槽上设置左右对称的门，在该门上安装基材保持件等的结构，并且在关闭一方的门而对设置于该门上的基材实施成膜处理的期间，在另一方的门上可以执行基材的拆装等。

现有技术文献：

专利文献1：国际公开第2009/084408号册；

专利文献2：日本特许第4246570号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

但是，上述的现有技术中存在成膜处理所需的时间长的问题。

更具体的是，专利文献1、2的真空成膜装置形成为在关闭一方的门（第一门）而对设置于该门上的基材实施成膜处理的期间（批量处理时间的数分钟期间），另一方的门（第二门）处于暴露在真空槽外部的空气（外部空气）中的状态。

在这里，运行真空成膜装置，例如进行如上所述的反射器的制造时，门的形成真空槽内壁的一部分的一侧的面（真空槽内壁侧面），即设置有基材的一侧的面被成膜物质所覆盖。该门的真空槽内壁侧面被成膜物质所覆盖时变成非常容易吸附水分的状态，并且与该面暴露在外部空气中的时间相对应地水分吸附量增大。像这样门的真空槽内壁侧面吸附水分时，水分的排出需要时间，并且批量处理时间长。

因此，为了抑制水分的吸附量，需要减小被成膜物质所覆盖的门的真空槽内壁侧面暴露在外部空气中的时间。

但是，在专利文献1、2的真空成膜装置中，在关闭第一门进行成膜处理的期间，第二门暴露在外部空气中并且吸附水分。而且，完成对设置于第一门上的基材的成膜处理时，打开该门并执行已成膜的基材的拆装等，同时关闭第二门，执行设置于该门上的基材的成膜处理。此时，第二门已吸附较多的水分，因此使成膜处理时间更进一步加长。

又，门的表面积依赖于基材的治具尺寸、以及配置于门上的基材数量等，而表面积越大，水分的吸附量越增大。

像这样，在专利文献1、2公开的真空成膜装置中，由于是在门上配置基材等的结构，因此批量处理时间的数分钟期间一方的门暴露在外部空气中，水分吸附量增大。又，为了有效地配置基材，门的表面积增大，结果是水分吸附量增大。

因此，在专利文献1、2公开的真空成膜装置中，需要将吸附的水分排出的时间，从而成膜处理所需的时间加长。

本发明是鉴于上述问题点而形成的，其目的在于提供减少水分的排出所需时间以能够抑制成膜处理所需时间的真空成膜装置。

解决问题的手段：

根据本发明的真空成膜装置是为了解决上述问题而在真空状态下对多个基材成膜的真空成膜装置，具备：用于支持所述基材的多个支持部；支持并搬运所述多个支持部的搬运单元；和具有用于搬入及搬出所述搬运单元的开口部以及用于开闭该开口部的门部，且用于形成真空状态的真空槽；所述搬运单元支持所述多个支持部以使所述多个支持部在向所述真空槽的搬运方向上直列地配置；所述开口部根据所述搬运单元的尺寸而形成。

在这里，基材是指成为成膜对象的构件，例如举出以特定的形状成型的成型体等的例子。

根据上述结构，由于真空槽具备开口部及门部，因此通过该开口部，支持支持部的搬运单元可以向该真空槽搬入，或者可以从真空槽搬出。

又，搬运单元在搬运方向上直列地配置并支持多个支持部，因此该搬运单元的尺寸取决于所支持的各支持部的尺寸。即，将搬运单元与搬运方向垂直地切割时的截面积与一个支持部的尺寸相对应。

在这里，开口部的开口尺寸是根据搬运单元的尺寸而形成的。即，开口部的开口尺寸是能够使支持于搬运单元的一个支持部从真空槽进出的尺寸，更具体的是，成为将搬运单元与搬运方向垂直地切割时的截面积。

又，用于开闭该开口部的门部的尺寸也与开口部的开口尺寸一起尽可能减小。即，尽可能减小门部的表面积。