[发明专利]振动反射镜器件

权利要求书

1.一种振动反射镜器件（100、300、400），其特征在于，

具有反射镜部（1）和用于驱动上述反射镜部的驱动部（4、5、304、305、404、405）；

上述驱动部配置有：

驱动用电极（44、54、344、354），用于通过被施加电压来使上述驱动部变形并驱动，

检测用电极（45、55、374、384、474、484），用于检测上述驱动部的变形量。

2.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极沿着上述驱动用电极的长度方向延伸。

3.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度为上述驱动用电极在长度方向上的长度的一半以上。

4.根据权利要求2所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极在长度方向上的长度比上述驱动用电极在长度方向上的长度小。

5.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述驱动用电极和上述检测用电极被配置为相互绝缘的状态。

6.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极随着上述驱动部的变形而变形。

7.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述检测用电极配置在上述驱动部的与上述反射镜部相反一侧的一侧面（4a、5a）附近。

8.根据权利要求7所述的振动反射镜器件，其特征在于，

上述驱动部，在上述一侧面沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸，并在上述反射镜部一侧的另一侧面（4b、5b）从上述驱动部在长度方向上的中央（4c、5c）向两端部（4d、4e、5d、5e）向上述一侧面一侧倾斜；

上述检测用电极沿着上述驱动部的长度方向以直线状延伸。

9.根据权利要求1所述的振动反射镜器件（300、400），其特征在于，

上述检测用电极（374、384、474、484）沿着上述驱动用电极（344、354）的长度方向延伸；

上述驱动用电极及上述检测用电极均以直线（B1、B2）为边界大致对称，其中，所述将直线（B1、B2）通过上述长度方向上的中央并沿着宽度方向延伸。

10.根据权利要求1所述的振动反射镜器件，其特征在于，

上述驱动部包括：

固定端（4c、5c），位于上述驱动部在长度方向上的大致中央，

一对自由端（4d、4e、5d、5e，），位于上述驱动部的长度方向上的两端部；

上述一对自由端相对于上述固定端向与上述驱动部的表面垂直的方向发生位移，来使上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状；

上述检测用电极基于上述驱动部挠曲变形为凹形状及凸形状，来检测上述驱动部的变形量。

11.根据权利要求1所述的振动反射镜器件（100），其特征在于，上述驱动用电极（44、54）和上述检测用电极（45、55）配置在同一面上。

12.根据权利要求11所述的振动反射镜器件，其特征在于，通过对相同的金属层印刻图形来形成上述驱动用电极和上述检测用电极。

13.根据权利要求11所述的振动反射镜器件，其特征在于，上述驱动用电极以与上述检测用电极的外周部相隔开的状态包围上述检测用电极的周围。

14.根据权利要求11所述的振动反射镜器件，其特征在于，

上述驱动部（4、5）包括共用压电体（43、53）和配置在上述共用压电体的一面上的共用电极（42、52）；

上述驱动用电极配置在上述共用压电体的另一面上的第一区域，上述检测用电极配置在上述共用压电体的另一面上的与上述第一区域不同的第二区域；

在上述驱动部中，通过向上述共用电极与上述驱动用电极之间施加电压，来使上述共用压电体变形；

上述检测用电极用于检测因上述共用压电体变形而产生的上述检测用电极与上述共用电极之间的电位差。