[发明专利]振动反射镜器件

说明书

技术领域

本发明涉及振动反射镜器件，特别涉及具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。

背景技术

以往，已知具有用于检测变形量的检测用电极的振动反射镜器件。例如，在日本特开2009－229517号公报中公开了这样的振动反射镜器件。

在上述日本特开2009－229517号公报中公开了一种促动器（actuator）（振动反射镜器件），该促动器包括：可摆动的反射镜；驱动电极，其借助静电力以非接触状态使反射镜摆动；扭杆（torsion bar），其与反射镜的端部相连接，并随着驱动电极使反射镜摆动而扭曲变形；角度检测传感器。在该日本特开2009－229517号公报中所述的促动器中，利用角度检测传感器检测扭杆的由扭曲变形产生的变形量，并根据上述变形量获得反射镜的偏转角。角度检测传感器包括：压敏电阻，其以一体方式形成在扭杆的表面；一对电压测量片（检测用电极），用于检测压敏电阻所产生的电压；一对偏置电流片，用于向压敏电阻供给偏置电流。此外，驱动电极以俯视时与反射镜的一部分重叠的状态形成在反射镜的下方。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－229517号公报

发明内容

所要解决的问题

然而，在日本特开2009－229517号公报所述的促动器中，由于驱动电极与反射镜的一部分重叠，因此在制造促动器的工序中，需要分开进行以一体方式在扭杆的表面形成角度检测传感器的压敏电阻等的制造工序和形成驱动电极的制造工序。

本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的一个目的在于，提供一种能够容易地制造具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。

用于解决问题的手段及发明的效果

本发明的一个方案的振动反射镜器件具有反射镜部和用于驱动反射镜部的驱动部；驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极和用于检测驱动部的变形量的检测用电极。

如上所述，在本发明的一个方案的振动反射镜器件中，通过在驱动部配置驱动用电极和检测用电极，可以用相同的制造工序形成驱动用电极和检测用电极。由此，不需要用不同的制造工序形成驱动用电极和检测用电极，从而可以容易地制造具有用于检测驱动部的驱动的检测用电极的振动反射镜器件。

优选地，在上述一个方案的振动反射镜器件中，检测用电极沿着驱动用电极的长度方向延伸。若这样构成，则能够利用检测用电极容易地检测沿着驱动用电极的长度方向的驱动部的变形。

在这种情况下，优选地，检测用电极在长度方向上的长度为驱动用电极在长度方向上的长度的一半以上。若这样构成，则能够使检测用电极以能够准确地检测驱动部的变形量的大小形成，因此能够准确地检测驱动部的变形量。此外，即使将检测用电极在长度方向上的长度设为驱动用电极在长度方向上的长度的一半，也能够准确地检测驱动部的变形量，这一点是本申请的发明人认真检查的结果及所观察出来的结构。

在上述检测用电极沿着驱动用电极的长度方向上延伸的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极在长度方向上的长度比驱动用电极在长度方向上的长度小。若这样构成，则能够抑制驱动部的检测用电极所占的比例变大，从而能够抑制因驱动部的驱动用电极所占的比例变小而引起驱动部的驱动力变小。

在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，驱动用电极和检测用电极以相互绝缘的状态被配置。若这样构成，则能够抑制发生因驱动用电极与检测用电极突然发生短路等而造成无法利用检测用电极准确地检测驱动部的变形量的情况。

在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极随着驱动部的变形而变形。若这样构成，则能够在不妨碍驱动部的变形的情况下，借助随着驱动部的变形而变形的检测用电极准确地检测驱动部的变形。

在上述一个方案的振动反射镜器件中，优选地，检测用电极配置在驱动部的与反射镜部相反一侧的一侧面附近。若这样构成，则能够经由与反射镜部相反一侧的一侧面附近容易地连接检测用电极与外部的端子。