[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，其具备：

第1移动体，其保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；

第2移动体，其包含在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第1移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向；以及

第3移动体，其与所述物体支承构件在至少所述第1方向于振动上分离，并且在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述第1移动体，能与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述第2移动体在第1底座构件上移动于所第2方向；以及

所述第3移动体在与所述第1底座构件振动上分离的第2底座构件上在所述第2方向上移动。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，所述第1移动体以非接触方式支承于所述第3移动体上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其进一步具备能在所述第2移动体上移动于所述第1方向的第4移动体；以及

所述第1移动体通过被所述第4移动体诱导而移动于所述第1方向。

5.如权利要求4所述的移动体装置，其中，在所述第4移动体被驱动于所述第1方向时，所述第1移动体是通过包含设于所述第4移动体的固定子与设于所述第1移动体的可动子的第1线性马达而与所述第4移动体同步被驱动。

6.如权利要求4或5所述的移动体装置，其中，在所述第4移动体被驱动于所述第1方向时，所述第1移动体是通过包含设于所述第4移动体的固定子与设于所述第1移动体的可动子的第2线性马达而被微幅驱动于所述第2方向及绕与所述二维平面正交的轴的方向的至少一方。

7.如权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体通过驱动装置驱动于所述第2方向；

所述第2移动体与所述第3移动体通过连结装置连结；以及

所述第3移动体通过所述连结装置被所述第2移动体牵引而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。

8.如权利要求7所述的移动体装置，其中，所述连结装置的六个自由度方向中，除了所述第2方向以外的五个自由度方向的刚性较所述第2方向的刚性低。

9.如权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体被驱动装置驱动于所述第2方向；以及

所述第3移动体通过与所述驱动装置驱动的所述第2移动体接触并按压而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。

10.如权利要求9所述的移动体装置，其中，在使所述第3移动体在所述第2方向上移动至既定位置后，所述第2移动体被所述驱动装置驱动于与所述第3移动体分离的方向。

11.如权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其进一步具备从第2及第3移动体的一方往另一方喷出气体的气体静压轴承；

其中所述第2移动体被驱动装置驱动于所述第2方向；以及

所述第3移动体通过被所述驱动装置驱动的所述第2移动体透过所述气体以非接触方式按压而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。

12.如权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体被第1驱动装置驱动于所述第2方向；以及

所述第3移动体通过与所述第1驱动装置独立控制的第2驱动装置而与所述第2移动体同步驱动于所述第2方向。

13.如权利要求12所述的移动体装置，其中，所述第1驱动装置与所述第2驱动装置使用共通的固定子。

14.如权利要求1至13中任一项所述的移动体装置，其中，所述物体支承构件以非接触方式支承前述物体。

15.如权利要求14所述的移动体装置，其中，所述物体支承构件通过往所述物体的下面喷出加压气体而以非接触方式支承该物体。

16.如权利要求1至15中任一项所述的移动体装置，其进一步具备干涉仪系统，所述干涉仪系统通过对所述第1移动体所具有的反射面照射测距光束且接收其反射光，以根据其反射光求出所述第1移动体的位置信息；

其中根据所述干涉仪系统的输出而控制所述第1移动体在所述二维平面内的位置。