[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法，更具体地讲，是关于使物体沿既定二维平面移动的移动体装置、对保持于该移动体装置的物体进行既定处理的物体处理装置、在保持在该移动体装置的物体形成既定图案的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及使用前述曝光装置的元件制造方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影工艺中，主要使用例如步进重复方式的投影曝光装置(所谓的步进机)、或步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机(亦称扫描机))等。

此种曝光装置，曝光对象的物体(玻璃板或晶圆(以下总称为“基板”))放置于基板载台装置上。然后，电路图案在光罩(或标线片)形成，通过投影透镜等光学系统的曝光，用光的照射转印至基板(参照例如专利文献1)。

近年来，曝光装置的曝光对象物即基板、特别是液晶显示元件用的矩形玻璃板的尺寸，例如一边三公尺以上等，有大型化的倾向，这样就使曝光装置的载台装置也大型化，其重量也亦增大。因此，被期望开发出一种载台装置，是能将曝光对象物(基板)高速且高精度地导引，进而可谋求小型化、轻量化。

先行技术文献

[专利文献]

[专利文献1]美国发明专利申请公开第2010／0018950号。

发明内容

根据本发明的第1个特征，提供一种移动体装置，其包括：第1移动体，保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，在至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；第2移动体，包含在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，能与所述第1移动体一起移动在所述二维平面内与前述第1方向正交的第2方向；以及第3移动体，与所述物体支承构件在至少所述第1方向通过振动分离，在所述第1移动体的在前述第1方向的可移动范围内从下方支承所述第1移动体，能与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。

藉此，通过第1移动体在第3移动体上在第1方向以既定行程移动，保持在该第1移动体的物体，则在被物体支承构件从下方支承的状态下在第1方向以既定行程移动。又，具有物体支承构件的第2移动体由于与第1移动体一起移动在第2方向，因此能将物体往第1方向及／或第2方向任意移动。此时，由于第3移动体也与第1及第2移动体一起移动于第2方向，因此第1移动体随时被第3移动体支承。又，由于物体在其可移动范围内随时被物体支承构件从下方支承，因此可抑制因自重导致的弯曲。因此，与将物体载置于具有与该物体相同程度面积的保持构件上并驱动该保持构件的情形相比较，能使装置更轻量化、小型化。又，由于第2移动体与第3移动体在至少第1方向在振动上分离，因此能抑制例如第1移动体移动于第1方向时产生的第1方向的振动、反作用力等在第2及第3移动体相互间传达。

根据本发明的第2特征，提供一种物体处理装置，其包括：本发明的移动体装置；以及执行装置，为了进行与上述物体相关的既定处理，从与所述保持装置相反的侧对所述物体中保持在所述保持装置的部分执行既定动作。

根据本发明的第3特征，提供一种第1曝光装置，其包括：本发明的移动体装置；以及通过能量光束使上述物体曝光据以将既定图案形成在所述物体上的图案形成装置。

根据本发明的第4特征，提供一种平板显示器的制造方法，其包括：使用所述第1曝光装置使作为所述物体而用于平板显示器装置的基板曝光的动作；以及使曝光后的所述基板显影的动作。

根据本发明的第5特征，提供一种元件制造方法，其包括：使用所述第1曝光装置使所述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。

根据本发明的第6特征，提供一种第2曝光装置，通过能量束使物体曝光并且将既定图案形成于所述物体上，其包括：第1移动体，可保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的所述物体的端部，在至少上述二维平面内的第1方向以既定行程移动；第2移动体，包含在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，能与所述第1移动体一起移动在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向；第3移动体，与所述物体支承构件在至少所述第1方向于振动分离，在所述第1移动体的在所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述第1移动体，能与所述第2移动体一起移动在所述第2方向；以及曝光系统，通过所述能量光束使所述物体曝光。