[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

成膜室，用于在基板上形成覆膜；

搬运架，用于垂直保持所述基板以使所述基板的一面沿竖直方向；

装入和取出室，配置为通过开关部与所述成膜室连通；和

移动机构，设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架在使所述搬运架在与所述成膜室之间能够插脱的运送位置和与所述运送位置相邻的避让位置之间移动，并且使所述搬运架沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动机构在所述运送位置和相对于所述运送位置位于斜上方的所述避让位置之间，使所述搬运架沿所述倾斜方向上下直线运动。

3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动机构包括：

第一移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于一斜上方的第一避让位置之间移动；和

第二移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于另一斜上方的第二避让位置之间移动。

4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

在所述第一移动机构和所述第二移动机构中分别包括支撑所述搬运架并使之移动的伸缩部件，所述第一移动机构的伸缩部件和所述第二移动机构的伸缩部件配置为相互交叉。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动机构使所述搬运架以相对于水平方向45°以上且85°以下的角度沿倾斜方向上下运动。

6.如权利要求1至5中的任一项所述的成膜装置，其特征在于，进一步包括：

加热部，设置在靠近所述装入和取出室的所述避让位置的位置，用于加热所述基板。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动机构进一步包括使所述搬运架沿竖直方向移动的第三移动机构。