[发明专利]气密密封的植入式眼科器械以及制造该器械的方法

权利要求书

1.一种植入式眼科器械，包括：

第一基板，所述第一基板具有气密密封通路，所述气密密封通路提供用于从所述第一基板的第一侧到所述第一基板的第二侧的电连通的导电路径；

第二基板，所述第二基板被粘接到所述第一基板的第一侧以至少部分地限定气密密封腔；以及

电子部件，所述电子部件在所述气密密封腔内并且与由所述气密密封通路提供的导电路径电连通。

2.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述气密密封通路包括通道以及所述通道内的导电材料，所述通道连接所述第一基板的第一和第二侧，所述导电材料提供所述导电路径。

3.如权利要求2所述的植入式眼科器械，其中，所述导电材料的热膨胀系数大约等于所述第一基板的热膨胀系数。

4.如权利要求3所述的植入式眼科器械，其中，所述导电材料和所述第一基板的热膨胀系数为大约2.0 ppm至大约5.0 ppm。

5.如权利要求2所述的植入式眼科器械，其中，所述导电材料包括钛、镍、金和铁中的至少一种。

6.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述通路的直径为大约100 μm至大约250 μm。

7.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，当经受氦气泄漏测试时，所述气密密封通路和所述气密密封腔以小于大约5×10^-12 Pa m³ s^-1的速率泄漏。

8.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述第一和第二基板中的至少一个包括硼硅酸盐玻璃和/或熔石英。

9.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述第一基板的厚度为大约25 μm至大约300 μm。

10.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述第一基板被激光熔接到所述第二基板。

11.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述第一基板被阳极粘接到所述第二基板。

12.如权利要求1所述的植入式眼科器械，其中，所述电子部件包括专用集成电路处理器、电容器、存储器、可编程逻辑分析器、模数转换器以及电池组充电器中的至少一种。

13.如权利要求1所述的植入式眼科器械，还包括：

生物相容导电材料，所述生物相容导电材料提供所述气密密封通路与另一个电子部件之间的电连接。

14.如权利要求13所述的植入式眼科器械，其中，所述生物相容导电材料的厚度为大约10 μm至大约200 μm。

15.如权利要求13所述的植入式眼科器械，其中，所述生物相容导电材料的电阻为大约10 Ohm或以下。

16.如权利要求1所述的植入式眼科器械，还包括：

第三基板，所述第三基板被粘接到所述第一基板的第二侧以限定所述气密密封腔。

17.如权利要求1所述的植入式眼科器械，还包括：

电活性元件，所述电活性元件经由所述气密密封通路与所述电子部件电连通。

18.如权利要求1所述的植入式眼科器械，还包括：

共形涂层，所述共形涂层沉积在所述气密密封腔周围以防止通过可能在所述气密密封腔中产生的裂纹或裂缝的泄漏。

19.一种制造植入式眼科器械的方法，所述方法包括：

（a）将电子部件放置成与气密密封通路电连通，所述气密密封通路提供从第一基板的第一侧到所述第一基板的第二侧的导电路径；以及

（b）把第二基板粘接到所述第一基板的第一侧以至少部分地限定容纳所述电子部件的气密密封腔。

20.如权利要求19所述的方法，其中，（a）还包括：

形成从所述第一基板的第一侧到所述第一基板的第二侧的通道；以及

用导电材料填充所述通道以限定所述导电路径。

21.如权利要求20所述的方法，其中，（a）还包括：

加热所述第一基板和所述导电材料中的至少一个以气密地密封所述通道，由此形成所述气密密封通路。