[发明专利]硅锭制造用容器有效
申请号: | 201180048726.7 | 申请日: | 2011-10-03 |
公开(公告)号: | CN103140443A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 吉泽彰;清水孝幸;朝日聪明 | 申请(专利权)人: | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 肖日松;杨楷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 容器 | ||
1.一种硅锭制造用容器,具备由底板和多个侧板构成的以能够分割的方式组装的箱状容器本体、以及形成于该容器本体的内表面的脱模材料,在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用,其特征在于,
所述容器本体由氮化硅或碳化硅或氧化铝中的任一种所构成的多孔体或两种以上组合的多孔体构成,所述脱模材料由氮化硅构成。
2.根据权利要求1所述的硅锭制造用容器,其特征在于,所述多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。
3.根据权利要求1或2所述的硅锭制造用容器,其特征在于,
具备保持器具,所述保持器具具有固定所述侧板的固定用槽,
在由所述固定用槽围绕的区域载置有所述底板,在所述侧板竖立设置于所述固定用槽的状态下,将楔子嵌入所述固定用槽的残余空间,由此,所述底板与所述侧板接合而被固定。
4.根据权利要求3所述的硅锭制造用容器,其特征在于,在所述固定用槽的所述残余空间,铺满与漏出的硅熔融液熔合且具有Si体积膨胀应力的缓和功能的熔融液捕获材料。
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