[发明专利]硅锭制造用容器

说明书

技术领域

本发明涉及用于制造太阳能电池等级的硅锭的硅锭制造用容器。

背景技术

一直以来，作为用于太阳能电池等的硅锭的制造方法，已知在石墨制或石英制的容器(坩埚或铸模等)中容纳硅熔融液并使该硅熔融液从下方凝固而使多晶硅生长的铸造法(cast，铸造法)。

依照该铸造法，由于在硅熔融液凝固时晶体生长的方向对齐为一定，因而能够制造抑制晶界所导致的比电阻增大的优质晶片。另外，依照铸造法，能够进行硅锭的大量生产。

作为硅锭制造用的大型容器，已知石墨制或石英制的板材(底板和四块侧板)互相螺丝紧固并以能够分割的方式组装的容器(例如，专利文献1、2)。另外，为了提高硅锭的取出性，在容器的内表面形成有氮化硅(Si₃N₄)等脱模材料。尤其是，在专利文献2中，通过使从板材彼此的间隙漏出的熔融液先固化而形成初始凝固层，从而防止硅熔融液漏出至容器外部。

专利文献1：日本特开昭62-108515号公报

专利文献2：日本特开2006-83024号公报。

发明内容

发明要解决的问题。

在使用上述的能够分割的组装型容器来制造硅锭的情况下，通过将容器拆开，从而能够容易地取出所培育的硅锭。另一方面，有可能在硅锭制造时的高温下容器变形、劣化，由此，容器破损或板材彼此的间隙扩大而硅熔融液漏出至外部。而且，如果硅熔融液漏出至容器外部，则对配置在晶体生长装置内部的容器周围的昂贵部件等造成损伤。

另外，在适用专利文献2所记载的技术的情况下，能够防止硅熔融液的漏出，但形成于板材的间隙的初始凝固层从脱模材料密集的容器角落的间隙结晶生长，成为晶体微细化的原因。所以，不能成品率良好地制造具有良好品质的硅锭。

本发明是为解决上述问题而做出的，其目的在于，提供这样的硅锭制造用容器：其能够防止硅熔融液漏出至外部，并且能够成品率良好地制造具有良好品质的硅锭。

用于解决问题的技术方案。

技术方案1所记载的发明是一种硅锭制造用容器，其具备由底板和多个侧板构成的以能够分割的方式组装的箱状容器本体、以及形成于该容器本体的内表面的脱模材料，在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用，其特征在于，前述容器本体由氮化硅、碳化硅或氧化铝中的任一种所构成的多孔体或两种以上组合的多孔体构成，前述脱模材料由氮化硅构成。

技术方案2所记载的发明，其特征在于，在技术方案1所记载的硅锭制造用容器中，前述多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。

在此，开口气孔率就是与外部连通的空孔的容积的总和相对于多孔体的表观容积的比例。

技术方案3所记载的发明，其特征在于，在技术方案1或2所记载的硅锭制造用容器中，具备保持器具，该保持器具具有固定前述侧板的固定用槽，

在由前述固定用槽围绕的区域载置有前述底板，在前述侧板竖立设置于前述固定用槽的状态下，将楔子嵌入前述固定用槽的残余空间，由此，前述底板与前述侧板接合而被固定。

技术方案4所记载的发明，其特征在于，在技术方案3所记载的硅锭制造用容器中，在前述固定用槽的前述残余空间，铺满与漏出的硅熔融液熔合且具有Si体积膨胀应力的缓和功能的熔融液捕获材料。

发明的效果。

依照本发明，由于具有良好脱模性的脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面，因而能够有效地防止脱模材料由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而损坏。所以，能够防止硅熔融液漏出至外部，并且能够成品率良好地制造具有良好品质的硅锭。另外，还能够在硅锭的制造中重复使用容器。

附图说明

图1是适用本发明的硅锭制造用容器的俯视图。

图2是图1的A-A线处的剖视图。

图3是显示使用实施方式的容器的晶体生长装置的一个示例的图。

图4A是显示在比较例中使用的硅锭制造用的容器的本体的立体图。

图4B是图4A所示的硅锭制造用容器的本体的正面剖视图。

图4C是放大显示图4B中由点线包围的部分的硅锭制造用容器的本体的局部放大图。

具体实施方式

以下，基于附图，详细说明本发明的实施方式。