[发明专利]透明导电性膜、其制造方法、电子装置用部件及电子装置

说明书

技术领域

本发明涉及透明导电性膜、其制造方法、包含该透明导电性膜的电子装置用部件、以及具备该电子装置用部件的电子装置。

背景技术

近年来，对于液晶显示器、电致发光(EL)显示器等显示器，为了实现薄型化、轻量化、柔性化等，研究了代替玻璃板而使用透明塑料膜作为具有电极的基板。然而，塑料膜存在与玻璃板相比容易透过水蒸气、氧等，容易发生显示器内部的元件的劣化这样的问题。

为了解决该问题，专利文献1中提出了在透明塑料膜上层叠由金属氧化物形成的透明阻气层而成的柔性显示器基板。然而，该文献记载的柔性显示器基板，由于是通过蒸镀法、离子镀法、溅射法等在透明塑料膜表面层叠由金属氧化物形成的透明阻气层而成的，因此在使该基板卷曲或弯折时，有时阻气层产生裂缝而阻气性降低。

以往，已知有在由透明塑料形成的基板上具有透明导电体层的透明导电性膜。作为上述透明导电性膜的透明导电体层形成材料，主要使用了锡掺杂氧化铟(ITO)，但由于铟是稀有金属，因此近年来提出了氧化锌系导电材料作为代替ITO的透明导电材料。然而，氧化锌系导电材料存在与ITO相比在高温高湿度条件下薄层电阻值劣化这样的问题。

为了解决该问题，专利文献2中公开了，在塑料基材上设置的硬涂层上，形成了掺杂有硅的氧化锌皮膜的透明导电体。然而，对于上述透明导电体，有时导电材料的结晶性降低而损害导电性。

专利文献3中公开了具有通过含有相对于锌为特定量的镓等来提高耐热性的透明导电膜的透明发热体。然而，在形成该透明发热体的透明导电膜的情况下，存在必须使锌以特殊的条件含有镓，制造条件受到限制这样的问题。

专利文献4中提出了通过设置增加了氧化度的耐热导电性层来提高耐热性的带有透明导电膜的基板。然而，在高温高湿度环境下，难以控制透明导电层的薄层电阻值。

此外，非专利文献1中公开了，在氧化镓-氧化锌系透明导电体中，通过使氧化镓的掺杂量非常多，并且使厚度为400nm，从而在高温高湿度环境下，将透明导电层的薄层电阻值控制在所希望的值的技术。然而，该文献所记载的方法中，由于需要将透明导电体成膜为400nm的厚度，因此生产性显著差，此外掺杂的氧化镓为大量，从原材料的成本方面考虑也不现实。

现有技术文献

专利文献

专利文献1 : 日本特开2000-338901号公报

专利文献2 : 日本特开平8-45352号公报

专利文献3 : 日本特开平6-187833号公报

专利文献4 : 日本特开2009-199812号公报

非专利文献

非专利文献1 : APPLIED　PHYSICS　LETTERS　89，091904(2006)。

背景技术

以往，已知在由透明塑料形成的基板上具有透明导电体层的透明导电性膜。作为上述透明导电性膜的透明导电体层形成材料，主要使用了锡掺杂氧化铟(ITO)，但铟是稀有金属，因此近年来提出了氧化锌系导电材料作为代替ITO的透明导电材料。然而，氧化锌系导电材料存在与ITO相比在高温高湿度条件下薄层电阻值容易劣化这样的问题。

为了解决该问题，专利文献1中公开了，在塑料基材上设置的硬涂层上，形成了掺杂有硅的氧化锌皮膜的透明导电体。然而，对于这样的透明导电体，有时导电材料的结晶性降低而损害导电性。

专利文献2中公开了具有通过相对于锌而含有特定量的镓等来提高耐热性的透明导电膜的透明发热体。然而，在形成该透明发热体的透明导电膜时，存在必须使锌在特殊的条件下含有镓，制造条件受到限制这样的问题。

专利文献3中提出了通过设置增加了氧化度的耐热导电性层来提高耐热性的带有透明导电膜的基板。然而，不能控制高温高湿度环境下的薄层电阻值。

此外，非专利文献1中记载了，在氧化镓-氧化锌系透明导电体中，通过使氧化镓的掺杂量非常多，并且使厚度为400nm，从而控制高温高湿度环境下的薄层电阻值的技术。然而，该文献所记载的方法中，将透明导电体成膜为400nm，因此生产性显著差，此外掺杂的氧化镓量非常多，从原材料的成本方面考虑也不现实。

现有技术文献

专利文献

专利文献1 : 日本特开平8-45352号公报

专利文献2 : 日本特开平6-187833号公报

专利文献3 : 日本特开2009-199812号公报

非专利文献

非专利文献1 : APPLIED　PHYSICS　LETTERS　89，091904(2006)。

发明内容