[发明专利]有机膜形成装置以及有机膜形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机膜形成装置以及有机膜形成方法，特别是，涉及使有机材料在成膜对象物上附着之后，将其固化并形成有机膜的技术领域。 

背景技术

目前，在有机EL元件的制造工序中，在基板上按顺序形成下部电极层、有机发光层、上部电极层之后，为了保护表面，防止水分的侵入，形成有作为保护膜的密封层。 

在专利文献1中，提出了将有机EL元件的密封层做成至少依次形成阻挡层、有机层、阻挡层的层叠膜的方案。 

另外，在专利文献2中，提出了具有使有机膜的有机材料堆积的处理室、固化有机材料的处理室和将无机膜进行成膜的处理室，并能将有机膜和无机膜连续地进行成膜的成膜装置。关于有机膜的成膜，提出了使成膜对象物通过有机材料堆积机构的下方并堆积了有机材料之后，使其通过固化机构的下方，将有机材料进行固化的方法。 

但是，当移动成膜对象物同时进行有机材料的堆积和固化时，存在移动中成膜对象物的温度进行变动，使堆积的有机材料再蒸发的问题。另外，为使成膜对象物移动，而使用了掩模的图案成膜是困难的。 

（现有技术文献） 

专利文献 

专利文献1 ：特开2001-307873号公报

专利文献2 ：特开2005-522891号公报

专利文献3 ：特许第4112702号公报。

发明内容

（本发明所要解决的问题） 

 本发明是为了解决上述现有技术的不妥之处而创作的发明，其目的在于，提供一种使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，固化有机材料，能将有机膜成膜的有机膜形成装置以及有机膜形成方法。

（用以解决问题的技术方案） 

为了解决上述课题，本发明为如下的一种有机膜形成装置，该有机膜形成装置形成当照射光时进行固化的光反应性材料的有机膜，其具有：真空槽；从配置于所述真空槽内的多个喷出口，喷出光反应性材料的喷淋板；至少与所述喷淋板面对的面被配置于所述真空槽内的基板台；将配置于所述基板台上的成膜对象物进行冷却的冷却装置；将配置于所述基板台上的所述成膜对象物的掩模进行保持的掩模保持装置；在所述喷淋板与所述基板台之间移动的同时，朝向所述掩模放射光的光照射装置；以及使所述喷淋板升温的加热装置。

本发明为如下的有机膜形成装置，其具有：包围所述喷淋板与所述基板台之间的空间中接近所述基板台的部分的屏蔽板；以及加热所述屏蔽板的屏蔽板用加热装置，以朝向作为由所述屏蔽板包围的空间的成膜空间，从所述喷淋板喷出所述光反应性材料的方式来构成，将所述真空槽内进行真空排气的排气口设置在所述成膜空间的外部。 

另外，本发明为如下的有机膜形成装置，其中，所述光照射装置以从所述成膜空间的外侧，通过所述屏蔽板与所述喷淋板之间，并通过所述基板台与所述喷淋板之间的方式来构成。 

本发明为如下的一种有机膜形成方法，其为将当照射光时进行固化的光反应性材料的有机膜形成在成膜对象物的表面的有机膜形成方法，在真空槽内配置的基板台上配置所述成膜对象物，在所述成膜对象物的表面接触配置掩模，冷却所述成膜对象物，将所述真空槽内进行真空排气的同时，从所述掩模上喷出所述光反应性材料，并使其附着于在所述掩模的开口底面露出的所述成膜对象物的表面，在附着的部分形成所述光反应性材料的液状膜，在停止了所述真空槽内的真空排气的状态下，在放射光的光照射装置中，移动在所述掩模上的同时，使所述光放射，使入射到位于露出于所述开口底面的所述成膜对象物表面上的所述液状膜，并使所述液状膜固化，形成所述光反应性材料的有机膜。 

本发明为如下的有机膜形成方法，其中，以屏蔽板包围所述基板台上的空间，将由所述真空槽内的所述屏蔽板包围的成膜空间的外侧进行真空排气，加热所述屏蔽板的同时，使所述光反应性材料充满所述成膜空间。 

本发明如下的有机膜形成方法，其中，从所述光照射装置使光放射并照射所述液状膜时，停止所述真空槽内的真空排气。 

（发明效果） 

由于使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，能照射使有机材料固化的UV光，所以可防止由成膜对象物的温度的变化引起的有机材料的再蒸发，另外，使用了掩模的图案成膜成为可能。

附图说明

[图1]本发明的有机膜形成装置的内部结构图； 

[图2]用于说明掩模与成膜对象物接触的状态的图；

[图3]用于说明光照射装置的移动中途的状态的图。

具体实施方式