[发明专利]用于第三方支持装备的预测性维护

权利要求书

1.一种计算机实施的方法，所述方法包含：

在制造环境中，藉由包含支持装备性能子系统和处理设备的服务器在第三方支持装备的操作期间自所述第三方支持装备中接收装备数据，其中所述装备数据经由所述第三方支持装备上的第一端口接收，并且所述第三方支持装备经由所述第三方支持装备上的第二端口与处理工具相通信；

基于所述装备数据，藉由所述服务器决定所述第三方支持装备的未来状态；以及

藉由所述服务器通知用户所述第三方支持装备的所述未来状态性能。

2.如权利要求1所述的计算机实施的方法，其特征在于，所述第三方支持装备由第一实体制造，并且所述支持装备性能子系统由第二实体维护，其中所述第一实体与所述第二实体不同。

3.如权利要求1所述的计算机实施的方法，其特征在于，所述支持装备性能子系统可从所述制造环境中移除，而不影响所述制造环境的性能。

4.如权利要求1所述的计算机实施的方法，所述方法进一步包含：

藉由所述支持装备性能子系统接收配置数据，所述配置数据包含用于接收所述装备数据的时间周期。

5.如权利要求1所述的计算机实施的方法，其特征在于，所述第三方支持装备的所述未来状态预测所述第三方支持装备的失效。

6.如权利要求1所述的计算机实施的方法，其特征在于，所述第三方支持装备的所述未来状态包含正常性能、部分展示磨损的记号、部分接近失效、以及部分失效中的至少一个。

7.如权利要求1所述的计算机实施的方法，所述方法进一步包含：

实时地比较所述装备数据与阈值数据以决定所述第三方支持装备是否在性能阈值之上，其中所述性能阈值指示所述第三方支持装备的失效。

8.如权利要求1所述的计算机实施的方法，其特征在于，所述第一端口为独立的，并且所述第一端口与所述第二端口分离。

9.一种非瞬态计算机可读存储器介质，所述非瞬态计算机可读存储器介质含有使处理器执行包含以下操作的可执行代码：

在制造环境中，在第三方支持装备的操作期间自所述第三方支持装备中接收装备数据，其中所述装备数据经由所述第三方支持装备上的第一端口接收，并且所述第三方支持装备经由所述第三方支持装备上的第二端口与处理工具相通信；

基于所述装备数据，决定所述第三方支持装备的未来状态；以及

通知用户所述第三方支持装备的所述未来状态性能。

10.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，其特征在于，所述支持装备性能子系统可从所述制造环境中移除，而不影响所述制造环境的性能。

11.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，所述非瞬态计算机可读存储器介质进一步包含：

接受配置数据，所述配置数据包含用于接收所述装备数据的时间周期。

12.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，其特征在于，所述第三方支持装备的所述未来状态预测所述第三方支持装备的失效。

13.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，其特征在于，所述第三方支持装备的所述未来状态包含正常性能、部分展示磨损的记号、部分接近失效、以及部分失效中的至少一个。

14.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，所述非瞬态计算机可读存储器介质进一步包含：

实时地比较所述装备数据与阈值数据以决定所述第三方支持装备是否在性能阈值之上，其中所述性能阈值指示所述第三方支持装备的失效。

15.如权利要求9所述的非瞬态计算机可读存储器介质，其特征在于，所述第一端口为独立的，并且所述第一端口与所述第二端口分离。