[发明专利]油墨和制备含硫属元素半导体的方法无效
申请号: | 201180054729.1 | 申请日: | 2011-11-20 |
公开(公告)号: | CN103222062A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 曹炎炎;M·S·小丹尼;L·K·约翰逊;卢美军;I·马拉约维基 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/032;H01L31/0216 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 油墨 制备 含硫属 元素 半导体 方法 | ||
1.油墨,包含下列的掺合物:
a)连结料;
b)铜源,所述铜源选自:含元素铜的颗粒、含铜的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
c)锌源,所述锌源选自:含元素锌的颗粒、含锌的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
d)锡源,所述锡源选自:含元素锡的颗粒、含锡的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物,
其中所述铜、锌或锡源中的至少一者包含含元素铜、含元素锌、或含元素锡的颗粒。
2.根据权利要求1所述的油墨,其中Cu:Zn:Sn的摩尔比为约2:1:1。
3.根据权利要求1所述的油墨,其中所述铜、锌或锡源中的至少一者包含含铜、含锌、或含锡的硫属元素化物颗粒,或者所述油墨还包含元素性硫属元素。
4.根据权利要求3所述的油墨,其中所述硫属元素化物颗粒选自:硫化物颗粒、硒化物颗粒、硫化物/硒化物颗粒、以及它们的混合物;并且其中所述元素性硫属元素为硫、硒、或它们的混合物。
5.根据权利要求1所述的油墨,其中所述铜源选自:Cu颗粒、Cu-Sn合金颗粒、Cu-Zn合金颗粒、Cu2S/Se颗粒、CuS/Se颗粒、Cu2Sn(S/Se)3颗粒、Cu4Sn(S/Se)4颗粒、Cu2ZnSn(S/Se)4颗粒、以及它们的混合物;所述锌源选自:Zn颗粒、Cu-Zn合金颗粒、Zn-Sn合金颗粒、ZnS/Se颗粒、Cu2ZnSn(S/Se)4颗粒、以及它们的混合物;并且所述锡源选自:Sn颗粒、Cu-Sn合金颗粒、Zn-Sn合金颗粒、Sn(S/Se)2颗粒、SnS/Se颗粒、Cu2Sn(S/Se)3颗粒、Cu4Sn(S/Se)4颗粒、Cu2ZnSn(S/Se)4颗粒、以及它们的混合物。
6.根据权利要求1所述的油墨,其中所述含铜、锌或锡的硫属元素化物颗粒还包含有机封端剂。
7.根据权利要求1所述的油墨,还包含至多约10重量%的一种或多种添加剂,所述一种或多种添加剂选自:分散剂、表面活性剂、聚合物、基料、配体、封端剂、消泡剂、增稠剂、防腐剂、增塑剂和掺杂剂。
8.方法,包括:
(a)通过在基板上沉积油墨来形成涂层基板,所述油墨包含下列的掺合物:
i)连结料;
ii)铜源,所述铜源选自:含元素铜的颗粒、含铜的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
iii)锌源,所述锌源选自:含元素锌的颗粒、含锌的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;和
iv)锡源,所述锡源选自:含元素锡的颗粒、含锡的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
其中所述铜、锌或锡源中的至少一者包含含元素铜、含元素锌、或含元素锡的颗粒;以及
(b)加热所述涂层基板以提供CZTS/Se的膜,其中所述加热在包含惰性气体的气氛下实施,并且如果所述油墨中总硫属元素与(Cu+Zn+Sn)的摩尔比小于约1,则所述气氛还包含硫属元素源。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述气氛还包含氢气、硫属元素源、或它们的混合物。
10.涂层基板,包括:
a)基板;和
b)设置在所述基板上的至少一层,所述层包含:
i)铜源,所述铜源选自:含元素铜的颗粒、含铜的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
ii)锌源,所述锌源选自:含元素锌的颗粒、含锌的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;和
iii)锡源,所述锡源选自:含元素锡的颗粒、含锡的硫属元素化物颗粒、以及它们的混合物;
其中所述铜、锌或锡源中的至少一者包含含元素铜、含元素锌、或含元素锡的颗粒。
11.根据权利要求10所述的涂层基板,其中所述Cu:Zn:Sn的摩尔比为约2:1:1。
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