[发明专利]感光性负型树脂组合物

权利要求书

1.一种感光性负型树脂组合物，其包括

(a)含环氧基化合物，

(b)含有由(b1)所表示的阳离子部结构和由(b2)所表示的阴离子部结构的第一鎓盐，和

(c)含有由(c1)所表示的阳离子部结构和由(c2)所表示的阴离子部结构的第二鎓盐，

其中，R₁至R₃彼此独立地为可被取代的且具有1至30个碳原子的有机基团，条件是R₁至R₃的全部构成原子中包含至少两个氧原子，X选自碳原子、氮原子、磷原子、硼原子和锑原子，Y选自–S(=O)₂-、氟化亚烷基、-OCF₂-、-C(=O)-CF₂-、-O-C(=O)-CF₂-、–C(=O)-O-CF₂-和单键，R₄为可被氟原子取代的且具有1至30个碳原子的烃基，且m和n为：当X为碳原子时，m+n为3且n为选自0、1和2的整数，当X为氮原子时，m+n为2且n为选自0和1的整数，当X为磷或锑原子时，m+n为6且n为选自0至6的整数，或当X为硼原子时，m+n为4且n为选自0至3的整数，

其中R₅至R₇彼此独立地为可被取代的且具有1至15个碳原子的有机基团，条件是，R₅至R₇的全部构成原子中包含至多一个氧原子，Z选自碳原子和硫原子，当Z为碳原子时，k为1，当Z为硫原子时，k为2，和R₈为可含有杂原子且具有1至20个碳原子的烃基。

2.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其满足[第一鎓盐的摩尔数]>[第二鎓盐的摩尔数]的关系。

3.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中所述组分(b)至少对i线具有感光性。

4.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中R₁至R₃的至少一个含有环羰基结构。

5.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中R₈含有芳香族烃或脂环族烃。

6.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中Z为硫原子。

7.根据权利要求2所述的感光性负型树脂组合物，其满足[第一鎓盐的摩尔数]×0.7>第二鎓盐的摩尔数>[第一鎓盐的摩尔数]×0.02的关系。

8.根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物，其中X为磷原子。

9.一种微细结构体，其在基板上形成，其为根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物的固化产物。

10.一种液体喷出头，其包括由根据权利要求9所述的微细结构体形成的流路形成层。

11.一种形成微细结构体的方法，其包括

(1)在基板上配置根据权利要求1所述的感光性负型树脂组合物的步骤，和

(2)使用i线通过光刻法对所述感光性负型树脂组合物进行图案化处理的步骤。