[发明专利]弹性波装置及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性波装置，传播板波，具备：

支承基板；

形成于所述支承基板上的声反射层；

形成于所述声反射层上的压电体层；和

形成于所述压电体层的上表面或下表面的IDT电极，

所述压电体层的厚度小于所述IDT电极的电极指的周期，

其中，所述声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗高于该低声阻抗层的高声阻抗层，

所述低声阻抗层由SiO₂构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO₃、Al₂O₃、AlN、LiNbO₃、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述高声阻抗层由从LiTaO₃、Al₂O₃、AlN、LiNbO₃、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层由从LiTaO₃、LiNbO₃、ZnO、AlN以及水晶所构成的群中选择的至少一种材料构成。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述压电体层由LiNbO₃或LiTaO₃构成，该LiNbO₃或LiTaO₃的欧拉角，在利用A₁模、S₀模、SH₀模的情况下，为表1所示的范围内，

[表1]

5.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置的制造方法，具备：

在支承基板上形成声反射层的工序；

在所述声反射层上层叠压电体层的工序；和

在所述压电体层上形成IDT电极的工序。

6.根据权利要求5所述的弹性波装置的制造方法，其中，

在所述声反射层上形成所述压电体层的工序如下地进行：在所述声反射层上接合压电体层，接下来使该压电体层变薄来形成所述压电体层。

7.根据权利要求5所述的弹性波装置的制造方法，其中，

在所述声反射层上层叠所述压电体层的工序如下地进行：在所述声反射层上成膜所述压电体层。

8.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置的制造方法，具备：

在比所述压电体层厚的压电体上形成所述声反射层的工序；

在所述声反射层的与层叠了所述压电体一侧相反侧的面接合所述支承基板的工序；

使所述压电体变薄来形成所述压电体层的工序；和

在所述压电体层上形成IDT电极的工序。