[发明专利]蒸镀装置和回收装置无效

专利信息
申请号: 201180062667.9 申请日: 2011-12-20
公开(公告)号: CN103270187A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00;H01L51/50;H05B33/10
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 装置 回收
【权利要求书】:

1.一种蒸镀装置,其为在蒸镀室中使从蒸镀源放出的蒸镀颗粒蒸镀在基板上的蒸镀装置,其特征在于:

从所述蒸镀源在第一期间中向第一方向放出的蒸镀颗粒被蒸镀在所述基板上,

从所述蒸镀源在所述第一期间中向与所述第一方向不同的第二方向放出的蒸镀颗粒、或在与所述第一期间不同的第二期间中从所述蒸镀源放出的蒸镀颗粒,被蒸镀在能够从所述蒸镀装置卸下的防附着部件上,

在所述防附着部件的被蒸镀所述蒸镀颗粒的表面的至少一部分上设置有能够从所述防附着部件剥离的薄膜,

所述薄膜包含熔点、升华点、相对于规定溶剂的溶解特性、相对于微生物的生物降解性、和光分解特性中的至少一个与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含相对于水的溶解特性与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

所述薄膜包含与在所述薄膜上形成的蒸镀膜相比容易溶解于所述水的材料。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜为水溶性的,

在所述薄膜上形成的蒸镀膜为非水溶性的。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含聚乙烯醇。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含相对于微生物的生物降解性与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

所述薄膜包含与在所述薄膜上形成的蒸镀膜相比容易被所述微生物进行生物降解的材料。

6.如权利要求5所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含聚乳酸或聚乙醇酸。

7.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含光分解特性与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

所述薄膜包含与在所述薄膜上形成的蒸镀膜相比容易被所述光进行分解的材料。

8.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含熔点或升华点与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

所述薄膜包含熔点或升华点比在所述薄膜上形成的蒸镀膜低的材料。

9.如权利要求8所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含聚乙烯或聚丙烯。

10.如权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜包含升华点与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

所述薄膜包含升华点比在所述薄膜上形成的蒸镀膜高的材料。

11.如权利要求10所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述薄膜为铝箔。

12.如权利要求1至11中任一项所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述防附着部件包括防附着板,该防附着板用于防止所述蒸镀室被所述蒸镀颗粒污染。

13.如权利要求1至11中任一项所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述防附着部件包括闸门,该闸门用于防止在所述第二期间中从所述蒸镀源放出的蒸镀颗粒被蒸镀在所述基板上。

14.如权利要求1至11中任一项所述的蒸镀装置,其特征在于:

所述防附着部件包括多个控制板或所述多个控制板形成为一体的部件,该多个控制板设置在从所述蒸镀源放出蒸镀颗粒的开口部与所述基板之间,并且,沿与所述基板的法线方向正交的方向,以将所述开口部夹在中间的方式以规定间隔形成。

15.一种回收装置,其特征在于,具备:

薄膜,该薄膜形成有权利要求1至14中任一项所述的蒸镀装置具备的蒸镀膜;和

分离部,该分离部用于从形成有所述蒸镀膜的薄膜将所述蒸镀膜与所述薄膜分离。

16.如权利要求15所述的回收装置,其特征在于:

所述薄膜包含相对于水的溶解特性与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

作为所述分离部具备水槽。

17.如权利要求15所述的回收装置,其特征在于:

所述薄膜包含相对于微生物的生物降解性与在所述薄膜上形成的蒸镀膜不同的材料,

作为所述分离部具备含有所述微生物的分解槽。

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