[发明专利]蒸镀装置和回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于对在不需要的部分蒸镀的蒸镀材料进行回收的蒸镀装置和回收装置。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中应用平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低耗电化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电场发光（Electro luminescence（电致发光），以下记为“EL”）的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性、广视野角特性等方面优异的平板显示器，受到了高度的关注。

有机EL显示装置，例如，具有在设置有TFT（薄膜晶体管）的包括玻璃基板等的基板上设置有与TFT电连接的有机EL元件的结构。

有机EL元件是能够通过低电压直流驱动进行高亮度发光的发光元件，具有依次叠层有第一电极、有机EL层和第二电极的结构。其中，第一电极与TFT连接。

另外，在第一电极与第二电极之间，作为上述有机EL层，设置有使空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层等叠层而得到的有机层。

全彩色的有机EL显示装置，一般而言，在基板上排列形成有红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）的各颜色的有机EL元件作为子像素，通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光来进行图像显示。

在这样的有机EL显示装置的制造中，按每个作为发光元件的有机EL元件，以规定图案形成有至少包括发各颜色光的有机发光材料的发光层。

作为制作这些有机EL层和第二电极的方法，例如，能够应用使用被称为阴影掩模的蒸镀用掩模的真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法等。

其中，现在最普遍使用的是真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，在高真空下，对被放入被称为坩埚或蒸发舟的加热用的容器中的蒸镀材料进行加热使其升华，使该蒸镀材料的薄膜沉积在基板上。

此时，使仅期望的区域开口的阴影掩模与基板密合，通过该阴影掩模的开口部进行蒸镀，由此，能够仅在期望的区域形成蒸镀膜。

但是，在上述真空蒸镀法的情况下，除了沉积在基板上的蒸镀膜以外，全部成为材料的损失，而不成为有机EL显示装置具备的蒸镀膜。

即，在决定是否向在装有蒸镀材料的坩埚等的正上方配置的基板放出蒸镀颗粒的闸门、以能够更换的状态设置使得蒸镀装置的腔室内不被蒸镀材料污染的防附着板、阴影掩模的非开口部等上附着的蒸镀材料全部浪费。

构成第二电极的材料一般为金属，其材料的单价与构成有机EL层的有机材料相比并不昂贵，但是构成有机EL层的有机材料是具有电传导性、载流子输送性、发光特性、热稳定性和电稳定性等的特殊的功能性材料，其材料的单价非常昂贵。

尽管如此，如上述那样，除了沉积在基板上的有机材料以外，全部成为材料的损失，因此，每个进行蒸镀处理的基板的材料使用量多，上述蒸镀处理花费的费用高昂，作为结果，有机EL显示装置的成本增大。

作为用于解决这样的问题的方法，可考虑将附着在基板以外的材料回收进行再利用的方法。

例如，在专利文献1中公开了通过喷射水流对附着在成膜夹具上的附着膜进行回收的喷水装置。

图15是表示专利文献1中记载的喷水装置的概略结构的图。

在图15所示的喷水装置中，设置有作业室122，该作业室122形成为从上方覆盖桌子126的箱状，该桌子126为用于清洗作业的作业台，在作业室122的侧面具备用于将作为被清洗物的成膜夹具125搬入到桌子126上和从桌子126上搬出的门。

作业室122以能够密闭的方式形成，使得在清洗作业中能够防止由喷水产生的飞沫漏出到外部。

在作业室122内设置有自动装置121，自动装置121的前端部能够沿着作为被清洗物（清洗对象）的成膜夹具125的附着膜的形成面的形状三维地移动。

在自动装置121的臂前端部安装有清洗喷枪151，用于产生高压水的高压水产生装置152以通过自动装置121向清洗喷枪151供给高压水的方式与清洗喷枪151连结，接近作业室122的外部设置。

此外，从纯水制造装置151向高压水产生装置152供给从自来水中除去离子后的水。

另外，作业室122设置有用于将作业室122的内面壁润湿的喷雾器159和用于将作业室122内设定为负压的排气扇162。