[发明专利]蒸镀膜的形成方法和显示装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及被图案形成为规定形状的蒸镀膜的形成方法和具备上述被图案形成为规定形状的蒸镀膜的显示装置的制造方法。

背景技术

近年来，平板面板显示器被应用于在各种商品和领域，并要求平板面板显示器的更加的大型化、高画质化、低消耗电力化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电致发光（Electroluminescence：以下记作“EL”）的有机EL元件的有机EL显示装置作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性、广视野角特性等方面优异的平板面板显示器受到高度关注。

有机EL显示装置例如具有如下结构：在由设置有TFT（薄膜晶体管）的玻璃基板等构成的基板上，设置有与TFT电连接的有机EL元件。

例如，在全彩色的有机EL显示装置，一般而言，在基板上作为子像素排列形成有具备红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）各种颜色的发光层的有机EL元件，通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地按所期望的亮度发光来进行彩色图像显示。

因此，为了制造有机EL显示装置，需要按每个有机EL元件、按规定图案形成包括发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层。

作为按规定图案形成这样的发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法等。而且，例如在低分子型有机EL显示装置（OLED），多使用真空蒸镀法。

在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模（也称为荫罩），使被紧密地固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相对。

然后，通过使来自蒸镀源的蒸镀颗粒（成膜材料）通过掩模的开口蒸镀在被蒸镀面，形成规定图案的薄膜。蒸镀按发光层的每种颜色进行，将这称为“分涂蒸镀”。

在专利文献1和专利文献2中记载有使掩模相对于基板一点点地移动，进行各种颜色的发光层的分涂蒸镀的方法。

在这样的现有的分涂蒸镀法中，使用与基板相同大小的掩模，在蒸镀时，掩模以覆盖基板的被蒸镀面的方式被固定。

因此，在现有的分涂蒸镀法中，基板越大掩模也就随之需要大型化。

但是，如果将掩模加大，则由于掩模的自重弯曲或伸长而容易在基板与掩模之间产生间隙，并且该间隙的大小根据基板的被蒸镀面的位置的不同而不同。

因此，使用现有的分涂蒸镀法，存在难以进行高精度的图案形成、产生蒸镀位置的偏差和混色的问题。

此外，在现有的分涂蒸镀法中，如果将掩模加大，则保持掩模等的框架等也变得巨大，其重量也增加，因此有可能导致难以进行处理、在生产性和安全性方面产生不便的问题。

而且，在现有的分涂蒸镀法中，蒸镀装置和/或附带的装置也同样巨大化、复杂化，因此，装置设计变得困难，设置成本也变高价。

如上所述，在现有的分涂蒸镀法中，现状是：难以向大型基板形成高精细地图案形成的蒸镀膜，例如不能以量产的水平对使用超过60英寸的掩模的大型基板实现分涂蒸镀。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“特开平8-227276号公报（1996年9月3日公开）”

专利文献2：日本公开专利公报“特开2000-188179号公报（2000年7月4日公开）”

发明内容

发明所要解决的问题

因此，提案有如图14和图15所示那样使用比基板101小的荫罩102的分涂蒸镀法。

在该分涂蒸镀法中，使用具有开口部102a的荫罩102、具有喷嘴开口部103a的喷嘴103和与喷嘴103连接的蒸镀材料供给源形成为一个整体的掩模单元105。

而且，如图14所示，使基板101的被蒸镀面101a与荫罩102相对配置，并且在将被蒸镀面101a与荫罩102的间隙G保持为一定的同时，在图中的左右方向上对基板101进行扫描并且对被固定的掩模单元105进行蒸镀，由此，能够在基板101的被蒸镀面101a形成具有条状的图案的蒸镀膜。

另一方面，在上述分涂蒸镀法中，如图15所示，使基板101固定，在图中的左右方向上对掩模单元105进行扫描并且对被固定的基板101进行蒸镀，由此，能够在基板101的被蒸镀面101a形成具有条状的图案的蒸镀膜。

在这样的扫描方式的分涂蒸镀法中，不需要如现有的分涂蒸镀法那样使用与基板相同大小的掩模，因此能够改善由于掩模尺寸变大而可能产生的上述那样的问题。

但是，在这样的使用比基板101小的荫罩102的扫描方式的分涂蒸镀法中，产生以下那样的新问题。