[发明专利]电子器件和用于制造电子器件的方法

说明书

提出一种电子器件，所述电子器件具有：第一电极（10）；第二电极（20）；有源区（30），所述有源区与所述第一电极（10）和所述第二电极（20）电耦合；以及壳体（100），其中所述壳体（100）至少在部分区域中包含单原子的碳层。

技术领域

提出一种电子器件以及一种用于制造所述电子器件的方法。

背景技术

也被理解为微机械器件，例如基于表面波的或者基于体积波的器件的电子器件的壳体通常需要空腔。迄今以不同的方法生成具有空腔的壳体，例如包括例如在陶瓷上作为间隔保持器和侧边界的框架结构的构造，器件的倒装芯片(Flip-Chip)和用塑料包外壳，或者也可以是晶圆中凹部的生成，用于连接的并且作为侧边界的框架结构的构造，完整的晶圆的倒装芯片和后续的晶圆键合，也就是说化合物的凝固。在此，晶圆例如能够由硅或者铌/钽构成。随后分割芯片。

发明内容

本发明的至少一个实施形式的目的在于，提供一种包围电子器件的壳体，所述壳体的尺寸减小并且相对于传统的壳体具有改善的稳定性。另一实施形式的目的在于，提供一种用于制造这样的电子器件的方法。所述目的通过一种电声器件以及一种用于制造电声器件的方法来实现。

一种电声器件，具有：

-第一电极；

-第二电极；

-有源区，所述有源区与所述第一电极和所述第二电极电耦合，其中，所述有源区包括压电层；以及

-壳体，

其中，所述壳体至少在部分区域中包含有石墨烯，其中，所述石墨烯作为单层或多层设置在所述电子器件的所述壳体中，使得所述石墨烯作为绝缘层或作为彼此相叠地设置的层存在于所述电子器件的所述壳体中。

一种用于制造电声器件的方法，具有如下方法步骤：

A)将临时层施加在所述构造上，所述构造包括所述第一电极、所述第二电极和所述有源区；

B)将具有开口的第一稳定层设置在所述临时层上；

C)通过所述开口移除所述临时层；以及

D)将层序列施加在所述第一稳定层上，其中包含石墨烯的层直接施加在空腔上、施加在层序列中或者施加作为封闭所述层序列的层。

提出一种电子器件，所述电子器件包括第一电极、第二电极、有源区和壳体，所述有源区与第一电极和第二电极电耦合，其中所述壳体至少在部分区域中包含有单原子的碳层。

在本文中，“电耦合”理解为欧姆接触或电磁接触。

因此提供一种电子器件，所述电子器件至少在其壳体的部分区域中包含有呈单原子的碳层的形式的合成材料。由于单原子的碳层，所述壳体具有提高的机械稳定性和静态稳定性。此外，单原子的碳层能够是导电的，以至于通过所述单原子的碳层的使用，壳体具有高频(HF)屏蔽功能。可替代地，单原子的碳层例如也能够通过氟来改性，以至于所述单原子的碳层是绝缘的。

单原子的碳层能够是平坦的，成形为管，或者部分平坦的并且部分地成形为管。平坦的单原子的碳层能够被称为石墨烯，成形为管的单原子的碳层被称为碳纳米管。

因此在壳体的部分区域中能够存在石墨烯、碳纳米管或者石墨烯和碳纳米管的混合物。单原子的碳层的这两种类型具有高的机械和静态稳定性，并且能够构成为能导电的。

由于所述特性，单原子碳层能够使用在用于电子器件的壳体中。

石墨烯是一种已定义的多环芳香烃，所述多环芳香烃也能够是官能化的。在此，所述石墨烯能够是黄色的或者橙色的固体。其基础结构基于六苯并蔻(HBC)，所述六苯并蔻在大多数溶剂中是不溶解的。这种基础结构例如能够由烷基链来取代，因此被取代的石墨烯在溶剂中是可溶解的。