[发明专利]气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法

权利要求书

1.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定装置，其特征在于，包括以下部分：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V₀)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)所流动的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V₀)的上游部连结。

2.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定方法，其特征在于，在通过各流量控制器而以能够切换的方式向气体使用部位供应多种气体的气体供应装置中，将流量测定装置(U)分支状地连结于所述气体供应装置的气体供应路(L)，该流量测定装置(U)由分支管路(Lb)、设于该分支管路(Lb)的出口侧的开闭阀(V)、分支管路(Lb)的气体压力检测器(Pd)及气体温度检测器(Td)以及运算控制装置(CP)构成，并且将该流量测定装置(U)的开闭阀(V)连接于气体流出侧，首先，闭合所述流量控制装置的各流量控制器的出口侧开闭阀(V₀₁~V_0n)及气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V₀)，并且开放流量测定装置(U)的开闭阀(V)，接着，仅开放被测定流量控制器的出口侧开闭阀并使设定流量的气体向所述流量测定装置(U)流入，且在气体压力及气体温度稳定之后闭合开闭阀(V)，在气体压力到达设定压力(P₁)的时刻(t₁)测量第1次的气体温度(T₁)及气体压力(P₁)，随后在所述气体压力到达设定压力(P₂)的时刻(t₂)测量第2次的气体温度(T₂)及气体压力(P₂)，且根据所述各测量值将流量(Q)作为Q=(22.4V/R·△t)×(P₂/T₂－P₁/T₁)(其中，V为分支管路(Lb)及气体供应管路(L)的合计内容积，R为气体常数，△t为t₂－t₁)而进行运算。

3.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定方法，其特征在于，在通过各流量控制器而以能够切换的方式向气体使用部位供应多种气体的气体供应装置中，将流量测定装置(U)分支状地连结于所述气体供应装置的气体供应路(L)，该流量测定装置(U)由分支管路(Lb)、设于该分支管路(Lb)的出口侧的开闭阀(V)、分支管路(Lb)的气体压力检测器(Pd)及气体温度检测器(Td)以及运算控制装置(CP)构成，并且将该流量测定装置(U)的开闭阀(V)连接于气体流出侧，首先，闭合所述流量控制装置的各流量控制器的出口侧开闭阀(V₀₁~V_0n)及气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V₀)，并且开放流量测定装置(U)的开闭阀(V)，接着，仅开放被测定流量控制器的出口侧开闭阀并使设定流量的气体向所述流量测定装置(U)流入，且在气体压力及气体温度稳定之后闭合开闭阀(V)，测量气体压力的上升率△P/△t，并且将流量(Q)作为Q=△P/△t×V/R·T(其中，V为分支管路(Lb)及气体供应管路(L)的合计内容积，R为气体常数，△t为测定时间，T为气体温度)而进行运算。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的气体供应装置用流量控制器的流量测定方法，由以下部分构成流量测定装置(U)：分支管路(Lb)，其分别将入口侧端部向气体供应管路(L)连结，另外将出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)所流动的气体压力及气体温度；运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量；电磁阀(EV)，其向开闭阀(V)供应驱动用流体；驱动用流体源(DGS)，其向电磁阀(EV)供应驱动用流体；输入输出板(IO)，其通向运算控制装置(CP)；以及电源装置(ES)。