[发明专利]气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法在审

专利信息
申请号: 201180064390.3 申请日: 2011-11-28
公开(公告)号: CN103282748A 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 泽田洋平;永濑正明;池田信一;西野功二;土肥亮介 申请(专利权)人: 株式会社富士金
主分类号: G01F1/00 分类号: G01F1/00;G01F15/02;G01F25/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 肖日松;杨楷
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 气体 供应 装置 流量 控制器 测定 方法
【权利要求书】:

1.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定装置,其特征在于,包括以下部分:分支管路(Lb),其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结,并且将其出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压力检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)所流动的气体压力及气体温度;以及运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量,该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。

2.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定方法,其特征在于,在通过各流量控制器而以能够切换的方式向气体使用部位供应多种气体的气体供应装置中,将流量测定装置(U)分支状地连结于所述气体供应装置的气体供应路(L),该流量测定装置(U)由分支管路(Lb)、设于该分支管路(Lb)的出口侧的开闭阀(V)、分支管路(Lb)的气体压力检测器(Pd)及气体温度检测器(Td)以及运算控制装置(CP)构成,并且将该流量测定装置(U)的开闭阀(V)连接于气体流出侧,首先,闭合所述流量控制装置的各流量控制器的出口侧开闭阀(V01~V0n)及气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0),并且开放流量测定装置(U)的开闭阀(V),接着,仅开放被测定流量控制器的出口侧开闭阀并使设定流量的气体向所述流量测定装置(U)流入,且在气体压力及气体温度稳定之后闭合开闭阀(V),在气体压力到达设定压力(P1)的时刻(t1)测量第1次的气体温度(T1)及气体压力(P1),随后在所述气体压力到达设定压力(P2)的时刻(t2)测量第2次的气体温度(T2)及气体压力(P2),且根据所述各测量值将流量(Q)作为Q=(22.4V/R·△t)×(P2/T2-P1/T1)(其中,V为分支管路(Lb)及气体供应管路(L)的合计内容积,R为气体常数,△t为t2-t1)而进行运算。

3.一种气体供应装置用流量控制器的流量测定方法,其特征在于,在通过各流量控制器而以能够切换的方式向气体使用部位供应多种气体的气体供应装置中,将流量测定装置(U)分支状地连结于所述气体供应装置的气体供应路(L),该流量测定装置(U)由分支管路(Lb)、设于该分支管路(Lb)的出口侧的开闭阀(V)、分支管路(Lb)的气体压力检测器(Pd)及气体温度检测器(Td)以及运算控制装置(CP)构成,并且将该流量测定装置(U)的开闭阀(V)连接于气体流出侧,首先,闭合所述流量控制装置的各流量控制器的出口侧开闭阀(V01~V0n)及气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0),并且开放流量测定装置(U)的开闭阀(V),接着,仅开放被测定流量控制器的出口侧开闭阀并使设定流量的气体向所述流量测定装置(U)流入,且在气体压力及气体温度稳定之后闭合开闭阀(V),测量气体压力的上升率△P/△t,并且将流量(Q)作为Q=△P/△t×V/R·T(其中,V为分支管路(Lb)及气体供应管路(L)的合计内容积,R为气体常数,△t为测定时间,T为气体温度)而进行运算。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的气体供应装置用流量控制器的流量测定方法,由以下部分构成流量测定装置(U):分支管路(Lb),其分别将入口侧端部向气体供应管路(L)连结,另外将出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压力检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)所流动的气体压力及气体温度;运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量;电磁阀(EV),其向开闭阀(V)供应驱动用流体;驱动用流体源(DGS),其向电磁阀(EV)供应驱动用流体;输入输出板(IO),其通向运算控制装置(CP);以及电源装置(ES)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社富士金,未经株式会社富士金许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180064390.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top