[发明专利]气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体制造装置、药品制造装置等使用的气体供应装置的流量控制器的流量测定装置及流量测定方法的改良，涉及使装置的小型化、构造的简单化、测定精度的提高及流量测定的迅速化成为可能的气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及使用该流量测定装置的流量测定方法。

背景技术

半导体制造装置等的气体供应装置一般以能够将多种类的气体切换并供应至处理室等气体使用对象的方式构成，且所需的处理用气体，可利用为每一供应气体种类设置的流量控制器来进行流量控制，并向气体使用对象供应。

另外，上述各流量控制器的流量测定，一般利用增量法(build up)法(或压力上升率(ROR)法)隔开适当的时间间隔而进行，通过对比流量控制器的设定流量与利用增量法等测量到的现实的控制流量，从而进行流量测定。

图5和图6示出现有的气体供应装置用流量控制器的流量测定方法的一例。即，在图5的测定方法中，首先，将由内容积已知的增量槽BT、入口开关阀V₁、出口开关阀V₂、压力检测器Pd以及气体温度检测器Td构成的流量测定单元U₀以分支状的方式向气体供应路L连结。接着，例如在测定气体供应装置GF的流量控制器MFC₁的情况下，首先关闭开闭阀V₀₂、V_0n、V₀，开启开闭阀V₀₁、V₁以及V₂，使气体向槽BT内流通，测量将开闭阀V₁以及V₂开放的状态下的时刻t₁、或将开闭阀V₁以及V₂开放后闭合开闭阀V₂的状态下的时刻t₁的压力检测值P₁、温度检测值T₁。接着，测量从开闭阀V₁以及V₂的开放状态闭合开闭阀V₁之后经过△t秒后、或者从将所述开闭阀V₁以及V₂开放后闭合开闭阀V₂的状态下的时刻t₁起经过△t秒后的压力检测值P₂、温度检测值T₂。

然后，根据上述各测量值求压力上升率△P/△t，将流量Q作为Q=(△P/△t)×(V/RT)而算出，确认流量控制器MFC₁的流量控制值。此外，所述流量计算式将气体假定为理想气体而运算通向槽BT内的增量流量，V为增量槽BT及其上游侧管路的合计内容积，R为气体常数，T为槽BT内的气体温度。

另一方面，在图6的测定方法中，将不使用增量槽的流量测定单元U₁以分支状的方式向气体供应管线L连结。然后，例如在测定气体供应装置GF的流量控制器MFC₁的情况下，首先，关闭开闭阀V₀、V₀₀、V₀₂、V_0n，开启开闭阀V₀₁、V₁、V₂，使设定流量的气体从流量控制器MFC₁向流量测定单元U₁流动，接着关闭开闭阀V₂。在开闭阀V₂的闭合后，在压力检测器Pd的压力检测值成为P₁时进行第1测量，测定压力P₁、温度T₁。随后，在压力检测器P的压力检测值成为P₂时(或者经过设定时间t秒时)进行第2测量，测定压力P₂、温度T₂。