[发明专利]弹性表面波滤波器装置有效
申请号: | 201180065346.4 | 申请日: | 2011-12-28 |
公开(公告)号: | CN103329437A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 玉崎大辅;上坂健一 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/64 | 分类号: | H03H9/64;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/145;H03H9/25;H03H9/72 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王亚爱 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 表面波 滤波器 装置 | ||
1.一种弹性表面波滤波器装置,具备梯型弹性表面波滤波器部,利用瑞利波为主模,其中,所述梯型弹性表面波滤波器部具有:
串联臂;
连接在所述串联臂上的串联臂谐振器;
连接所述串联臂和接地的并联臂;和
设于所述并联臂的并联臂谐振器,
所述弹性表面波滤波器装置的特征在于,
所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器分别由弹性表面波谐振器构成,其中所述弹性表面波谐振器具有:压电基板、形成于所述压电基板上的IDT电极、和覆盖所述IDT电极地形成的电介质层,
构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层的厚度与构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层的厚度不同,且构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位与构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位不同。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
所述压电基板由LiNbO3基板构成,在欧拉角(θ,ψ)中,θ处于25°~45°的范围内,ψ是构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位以及构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位。
3.根据权利要求2所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位相对于构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位而成的角度大于0°且为8°以下。
4.根据权利要求3所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层厚于构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层,构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于0°±1°的范围内,构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于1°~8°的范围内。
5.根据权利要求4所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于3.5°~6.5°的范围内
6.根据权利要求3所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层薄于构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层,构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于1°~8°的范围内,构成所述并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于0°±1°的范围内。
7.根据权利要求6所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
构成所述串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于3.5°~6.5°的范围内。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
所述电介质层包含SiO2层。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的弹性表面波滤波器装置,其特征在于,
所述串联臂谐振器的压电基板和所述并联臂谐振器的压电基板通过公共的压电基板构成。
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