[发明专利]弹性表面波滤波器装置

说明书

技术领域

本发明涉及弹性表面波滤波器装置。本发明特别涉及具有梯型弹性表面波滤波器部的弹性表面波滤波器装置。

背景技术

现有技术中，例如作为搭载于便携式电话机等的通信机中的RF（Radio Frequency，无线频率）电路中的带通滤波器或分波器，使用利用了弹性表面波的弹性表面波滤波器装置。作为这样的弹性表面波滤波器装置的一例，例如在下述的专利文献1中记载了具有梯型弹性表面波滤波器部的弹性表面波滤波器装置。在专利文献1中进行了如下记载：在构成梯型弹性表面波滤波器部的多个弹性表面波谐振器中，在各弹性表面波谐振器的IDT电极上设置保护膜，通过使并联臂弹性表面波谐振器中的IDT电极上的保护膜的厚度、与串联臂弹性表面波谐振器中的IDT电极上的保护膜的厚度不同，来使滤波器特性陡峭，并使通带中的频率特性平坦。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2000－196409号公报

发明的概要

发明要解决的课题

但是，在专利文献1记载的弹性表面波滤波器装置中，存在会在通带内产生脉动的情形。

发明内容

本发明鉴于相关点而提出，其目的在于，提供一种弹性表面波滤波器装置，具有陡峭的滤波器特性，并且通带宽且抑制了通带内的脉动。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置利用瑞利波作为主模，具备梯型弹性表面波滤波器部。弹性表面波滤波器部具有：串联臂、串联臂谐振器、并联臂和并联臂谐振器。串联臂谐振器连接在串联臂上。并联臂连接串联臂和接地。并联臂谐振器设于并联臂。并联臂谐振器设于并联臂。串联臂谐振器和并联臂谐振器分别通过具有压电基板、IDT电极、和电介质层的弹性表面波谐振器构成。IDT电极形成于压电基板上。电介质层覆盖IDT电极地形成。构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层的厚度与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层的厚度不同，且构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位不同。

在本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置的某特定的局面下，压电基板由LiNbO₃基板构成，在欧拉角（θ，ψ）中，θ处于25°～45°的范围内，ψ是构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位以及构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位。

另外，在本发明中，欧拉角（θ，ψ）是表现压电基板的切断面和弹性表面波的传播方向的参数。在本发明中，欧拉角（θ，ψ）是文献“弹性波元件技术手册”（日本学术振兴会弹性波元件技术第150委员会、第1版第1次印刷、平成13年11约30日发行、第549页）记载的右手系欧拉角。即，对于压电基板的结晶轴X、Y、Z，以Z轴为轴，绕X轴逆时针旋转得到Xa轴。接下来，以Xa轴为轴，绕Z轴逆时针旋转θ得到Z′轴。将包含Xa轴，以Z′轴为法线的面设为压电基板的切断面。然后，将以Z′轴为轴，绕Xa轴逆时针旋转ψ后的轴X′方向设为弹性表面波的传播方向。另外，作为欧拉角的初始值而赋予压电基板的结晶轴X、Y、Z中，将Z轴设为与c轴平行，将X轴设为与等价的3方向的a轴中的任意一个平行，将Y轴设为包含X轴和X轴的面的法线方向。

在本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置的其它的特定的局面下，构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位相对于构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器中的弹性表面波的传播方位而成的角度大于0°且为8°以下。

在本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置的另外的特定的局面下，构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层厚于构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层，构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于0°±1°的范围内，构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于1°～8°的范围内。

在本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置的再其它的特定的局面下，构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于3.5°～6.5°的范围内。

在本发明所涉及的弹性表面波滤波器装置的再另外的特定的局面下，构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层薄于构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的电介质层，构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于1°～8°的范围内，构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器的ψ处于0°±1°的范围内。