[发明专利]电子显微镜用试样支架及试样观察方法

权利要求书

1.一种电子显微镜用试样支架，其用于相对于收纳在真空试样室中的试样照射电子线，从而获得上述试样的图像的电子显微镜，该电子显微镜用试样支架的特征在于，

具备收纳成为气体源的物质的容器，

该容器具备载置上述试样的试样台、以及

将由上述容器内的物质产生的气体供给到上述试样台上的试样的机构。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

还具备设在上述盖部件的上表面侧的凹部、以及

形成在该凹部里的、直径比上述凹部的内径小的贯通孔，

上述试样台配置在上述凹部的内部。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

还具备配置在上述凹部的内部且上述试样台的下部的节流部件、以及

将该节流部件固定在上述凹部内的规定位置的节流按压件，

上述节流部件具备使上述气体透过的贯通孔。

4.根据权利要求3所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

上述节流部件是具备上述贯通孔的环状板部件。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

通过更换具备孔径不同的上述贯通孔的多个上述节流部件，能够调整相对于上述试样供给的气体的流量。

6.根据权利要求2所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

还具备使上述试样台或上述节流按压件在上述凹部内上下移动的升降机构。

7.根据权利要求6所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

上述升降机构是形成在上述试样台或上述节流按压件的外周部及上述凹部的内壁面的螺纹槽。

8.根据权利要求2所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

在上述盖部件的上部能安装具有直径比上述试样台的直径小的贯通孔的第二盖部件。

9.根据权利要求1～8任一项所述的电子显微镜用试样支架，其特征在于，

还具备能直接安装在上述电子显微镜的试样微动装置上的附件。

10.一种电子显微镜，具备：

收纳试样的真空试样室；

具有相对于上述试样照射电子线的功能的电子光学镜筒；

检测由上述电子线的照射获得的二次电子或反射电子的检测器；以及

收纳在上述真空试样室内而使用的试样支架，

该电子显微镜的特征在于，

上述试样支架具备收纳成为气体源的物质的容器、以及

相对于该容器被真空密封地嵌合的盖部件，

该盖部件具备载置上述试样的试样台、以及

将由上述容器内的物质产生的气体供给到上述试样台上的试样的机构。

11.一种观察方法，相对于放置在真空试样内的试样照射电子线，通过检测获得的二次电子或反射电子并图像化，观察上述试样，该观察方法的特征在于，

载置收放成为气体源的物质的容器，在该容器上载置试样支架与上述试样，

通过利用上述真空试样室内的压力使上述容器内的物质挥发，在上述试样的载置位置形成局部的低真空状态，

通过相对于该试样照射上述电子线而获得上述试样的图像。