[发明专利]半导体装置的检查设备

权利要求书

1.一种半导体装置的检查设备，其用于检查具有多个电的检查接触点的检查目标的电特性，该检查设备包括：

插槽组件，该插槽组件包括在纵向方向上可缩回的多个探针、支撑彼此平行的所述探针的探针支撑器、和包括与所述探针的第一端部接触的多个固定接触点的插槽板；和

检查目标载体，该检查目标载体包括容纳所述检查目标从而使所述检查接触点面朝所述探针的第二端部的检查目标容纳部分，和被插入于所述检查目标与所述探针支撑器之间并包括探针孔的底板元件，其中所述探针孔在与所述检查接触点对应的位置穿透底板元件并且所述探针的第二端部穿过所述探针孔。

2.根据权利要求1所述的检查设备，其中，所述底板元件和所述探针支撑器包括凸起连接部分，该凸起连接部分包括将沿探针的纵向方向连接和对准的位于一侧的引导突起和位于另一侧的引导槽。

3.根据权利要求2所述的检查设备，其中，所述凸起连接部分被形成为当探针支撑器接近底板元件时，引导突起与引导槽之间的连接早于探针与探针孔之间的连接。

4.根据权利要求1所述的检查设备，其中，所述探针孔沿探针的所述纵向方向容纳所述检查接触点的至少一部分。

5.根据权利要求3所述的检查设备，其中，所述探针支撑器包括在所述探针的区域中的、朝向所述底板元件突出的突出部，并且所述底板元件包括用于容纳所述突出部的突出部容纳部分。

6.根据权利要求5所述的检查设备，其中，当引导突起与引导槽连接时，所述突出部不与所述突出部容纳部分相接触。

7.根据权利要求2所述的检查设备，其中，所述凸起连接部分包括至少两对位于一侧的引导突起和位于另一侧的引导槽，并且所述至少两对引导突起和引导槽在形状上不同，以便不会彼此卡住。

8.根据权利要求7所述的检查设备，其中，所述不同形状包括圆形和椭圆形。

9.根据权利要求1所述的检查设备，其中，所述底板元件包括排尘口。