[发明专利]流量计

权利要求书

1.一种流量计，其特征在于，包括：

具有形成有发热体的隔膜的硅基板；

由形成在所述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；

层叠在所述硅基板上的有机保护膜；和

覆盖所述硅基板的模压树脂，

所述隔膜具有从所述有机保护膜露出的露出部，

所述硅基板层叠有与所述模压树脂密合性高的密合膜，

在所述露出部与所述铝膜之间具有所述模压树脂与所述密合膜的接合面。

2.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

所述密合膜为无机绝缘膜。

3.如权利要求2所述的流量计，其特征在于：

所述有机保护膜由以包围所述隔膜的方式设置的第一有机保护膜和以包围所述隔膜的边缘部的方式设置的第二有机保护膜构成。

4.如权利要求3所述的流量计，其特征在于：

在所述第一有机保护膜与所述第二有机保护膜之间，具有所述模压树脂与所述无机绝缘膜的接合面。

5.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

所述有机保护膜为聚酰亚胺膜。

6.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

所述有机保护膜为聚苯并恶唑树脂。

7.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

在所述铝膜的上部具有氮化硅膜。

8.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

所述密合膜至少实施过800℃以上的热处理。

9.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

在所述接合面形成有凹凸图案。

10.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

横穿所述接合面的配线由与所述发热体相同的材料构成。

11.如权利要求1所述的流量计，其特征在于：

以覆盖所述隔膜的边缘部的方式设置有所述有机保护膜，

在以覆盖所述隔膜的边缘部的方式设置的所述有机保护膜的边缘部，设置有所述模压树脂。