[发明专利]流量计

说明书

技术领域

本发明涉及一种流量计，其为测定内燃机关的吸入空气的流量计。

背景技术

在流量计的现有例子中，例如有专利文献1所述的半导体装置等。专利文献1的半导体装置采用利用密封树脂将构成流量检测部的硅基板的一部分密封的结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：（日本）特开2008-157742号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在专利文献1中，形成作为有机保护膜的聚酰亚胺树脂在密封树脂外部露出的结构，对于水分向聚酰亚胺树脂的渗透性、和聚酰亚胺树脂与环氧树脂的接合强度，考虑不够。

聚酰亚胺树脂即使分子结构具有网眼结构也是有机高分子材料，因此与无机物相比，水分的渗透性高。另外，聚酰亚胺树脂与环氧树脂的接合强度也比氧化膜与环氧树脂的强度低，容易产生接合面的剥离。由于这些原因，当水分渗入时，铝配线、铝垫片等就有可能发生腐蚀。因此，难以在硅基板上构成易腐蚀的微细的铝配线，难以在硅基板上构成需要复杂且微细的铝配线的电路。

本发明的目的在于提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。

用于解决技术问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明的流量计包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在上述硅基板上的有机保护膜；和覆盖上述硅基板的模压树脂，其中，上述隔膜具有从所述有机保护膜露出的露出部，上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜，在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。

发明的效果

根据本发明，可提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。

附图说明

图1是第一实施例的流量计的外观图。

图2是图1中的A－A＇的剖视图。

图3是层叠在流量检测元件的表面上的有机保护膜的平面形状。

图4是表示流量检测元件的配线的平面图。

图5是第二实施例的流量计的图1中A－A＇的剖视图。

图6是层叠在第二实施例的流量检测元件的表面上的有机保护膜的平面形状。

图7是第三实施例的流量计的外观图。

图8是图7中A－A＇的剖视图。

图9是图7中B－B＇的剖视图。

图10是层叠在第三实施例的流量检测元件的表面上的有机保护膜的平面形状。

图11是表示流量检测元件的配线的平面图。

具体实施方式

下面，参照图1至图11对本发明的具体实施方式进行说明。

首先，根据图1至图4对本发明的第一实施例的流量计进行说明。

第一实施例的流量计如图1、图2所示构成为，将流量检测元件4配置在引线框13，利用模压树脂1进行树脂模压而得到的结构。流量检测元件4的一部分通过露出部2露出在模压树脂1的外部，使计测空气流与流量检测元件4直接接触。另外，引线框13的一部分构成外部端子3，将流量检测元件4的电源端子、输出端子等经由铝垫片11、金属线12与外部端子3连接，在模压树脂1的外部取出电信号。

接着，对流量检测元件4进行说明。流量检测元件4通过在硅基板15上层叠无机绝缘膜5，在硅基板15的一部分上形成空腔部，由此设置薄膜结构的隔膜14，在该隔膜14上设置由多晶硅、铂金、钼、钨等薄膜形成的发热体6，通过加热该发热体6，计测该发热体6的散热量和发热体6的周围的温度变化，由此计测空气流量。另外，发热体6从由与发热体6相同材料构成的配线8、17开始，经由铝配线10、18与电路16相连接，通过该电路16进行发热体6的加热控制或温度检测等。另外，电路16连接向铝垫片11，经由金属线12、外部端子3将电源、输出信号取出到外部。另外，为了保护铝配线10、18而配置有有机保护膜9。并且，铝配线10、18和铝垫片11通过将铝膜图案化而形成。另外，有机保护膜9适于采用聚酰亚胺树脂和聚苯并恶唑树脂。由聚酰亚胺树脂构成的聚酰亚胺膜作为有机膜，水分的透过率低，能够防止水分渗透。由聚苯并恶唑树脂构成的有机膜的吸水率为聚酰亚胺树脂的1/4～1/3，与模压树脂1的密合强度也是由聚酰亚胺树脂构成的聚酰亚胺膜的2倍，适于作为保护膜，能够进一步抑制水分的渗透。