[发明专利]有机膦酸类阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法

权利要求书

1.一种有机膦酸类阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)基线测绘：将洗脱液用泵输入色谱分离柱使其达到平衡，从色谱分离柱输出的洗脱液流入电导流通池，由电导检测器转化为电信号，从而形成基线被测绘；

(2)进样和离子交换：含有膦酸盐的阻垢缓蚀剂被测试样在硫酸洗脱液的推动下进入色谱分离柱产生离子交换；

(3)洗脱：将洗脱液连续输入色谱分离柱中，不断将膦酸盐阻垢缓蚀剂在色谱分离柱上展开，各离子产生差速迁移而相互分离，在不同的保留时间被洗脱；

(4)非抑制电导检测分析：从色谱分离柱输出的含膦酸根的溶液通过电导池时由电导检测器转化为电信号，从而形成谱图被记录。

2.根据权利要求1所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法，其特征在于，所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂为羟基亚乙基叉二膦酸，洗脱液为4mmol/L H₂SO₄，采用等度洗脱。

3.根据权利要求1所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法，其特征在于，所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂为氨基三甲叉膦酸，洗脱液为4mmol/L H₂SO₄，采用等度洗脱。

4.根据权利要求1所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法，其特征在于，所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂为乙二胺四亚甲基膦酸钠，洗脱液为4mmol/L H₂SO₄，采用等度洗脱。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法，其特征在于，所述的分离柱为Shodex IC NI-424阴离子交换柱，进样量为100μL。