[发明专利]旋转清洗装置有效
| 申请号： | 201210001890.9 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN102580938A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 大谷秀明 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转清洗装置，其具有：
圆盘形状的保持工作台，所述保持工作台用于保持工件；
旋转部，所述旋转部使所述保持工作台以铅直方向为旋转轴旋转；
腔体，所述腔体用于收纳所述保持工作台，并且所述腔体的上表面开口；以及
管道，所述管道将气体从所述腔体内排出，
所述旋转清洗装置的特征在于，
该旋转清洗装置具有叶片，所述叶片形成于所述保持工作台的外周侧面，
在通过所述旋转部使所述保持工作台旋转时，所述叶片同时旋转，并产生沿着所述保持工作台的外周周围的空气的气流以向所述管道进行引导。
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